| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 目录 | 第12-15页 |
| 1 引言 | 第15-25页 |
| ·光互联技术中的集成光电子器件 | 第15-17页 |
| ·强限制光波导的发展概况 | 第17-21页 |
| ·本论文的主要内容及创新点 | 第21-25页 |
| ·主要内容 | 第21-22页 |
| ·创新点 | 第22-25页 |
| 2 光波导数值分析方法及应用 | 第25-55页 |
| ·光波导电磁理论基础 | 第26-30页 |
| ·平板光波导 | 第27-29页 |
| ·等效折射率方法(EIM) | 第29-30页 |
| ·模式分析方法及应用 | 第30-36页 |
| ·有限差分方法(FDM) | 第30-34页 |
| ·SU-8脊型光波导的特性分析 | 第34-36页 |
| ·有限差分束传输方法(BPM) | 第36-39页 |
| ·时域有限差分方法(FDTD) | 第39-43页 |
| ·三维FDTD | 第39-41页 |
| ·旋转体FDTD | 第41-43页 |
| ·SOI纳米线光波导与透镜光纤的耦合研究 | 第43-55页 |
| 3 热传导理论与光波导热光效应研究 | 第55-65页 |
| ·热传导理论 | 第55-56页 |
| ·有限差分方法(FDM) | 第56-60页 |
| ·新型热电极设计与SOI纳米线光波导的热学特性分析 | 第60-65页 |
| 4 两种强限制光波导的制作工艺研究 | 第65-73页 |
| ·SOI超小型光波导器件的制作工艺 | 第65-68页 |
| ·SOI光波导的制作工艺 | 第65-67页 |
| ·SOI热光器件的制作工艺 | 第67-68页 |
| ·SU-8小型化光波导器件的制作工艺研究 | 第68-73页 |
| ·纳米压印技术 | 第68-69页 |
| ·直接紫外光刻技术 | 第69-73页 |
| 5 微环谐振器及其热光特性研究 | 第73-105页 |
| ·微环谐振器理论基础及分析方法 | 第73-78页 |
| ·微环谐振器特性分析 | 第74-75页 |
| ·微环谐振器特征参数 | 第75-76页 |
| ·光插/分滤波器 | 第76-77页 |
| ·微环谐振器的热光效应 | 第77-78页 |
| ·基于SOI的新型热光可调谐滤波器设计 | 第78-84页 |
| ·小型化SU-8微环谐振器及其热光特性研究 | 第84-97页 |
| ·用于微环谐振器的小型化多模干涉耦合器的研制 | 第84-94页 |
| ·小型化微环谐振器及其热光特性研究 | 第94-97页 |
| ·小型化微环谐振器的热光非线性效应的实验研究 | 第97-105页 |
| ·热光非线性效应实验研究 | 第98-100页 |
| ·热光非线性效应现象分析 | 第100-103页 |
| ·双稳态现象的观察与分析 | 第103-105页 |
| 6 总结和展望 | 第105-109页 |
| ·工作总结 | 第105-106页 |
| ·工作展望 | 第106-109页 |
| 参考文献 | 第109-123页 |
| 作者简历 | 第123-124页 |
| 个人简历 | 第123页 |
| 博士在读期间发表的论文 | 第123-124页 |