| 提要 | 第1-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·微纳米力学测试技术的发展现状 | 第9-13页 |
| ·国外研究现状 | 第9-11页 |
| ·国内研究现状 | 第11-12页 |
| ·现在存在的主要问题和未来发展趋势 | 第12-13页 |
| ·本课题研究的意义和主要内容 | 第13-16页 |
| ·课题的研究意义 | 第13-14页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 微纳米力学测试的支撑技术—精密驱动与精密检测 | 第16-30页 |
| ·压电叠堆驱动理论 | 第16-21页 |
| ·智能材料 | 第16-17页 |
| ·压电叠堆的结构和工作原理 | 第17-18页 |
| ·压电叠堆的基本特性 | 第18-21页 |
| ·音圈电机驱动技术 | 第21-26页 |
| ·音圈电机的基本原理 | 第21-23页 |
| ·直线音圈电机的数学模型 | 第23-24页 |
| ·直线音圈电机的选型 | 第24-26页 |
| ·精密检测技术 | 第26-28页 |
| ·微位移测量技术 | 第26-27页 |
| ·微载荷测量技术 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 微纳米力学测试技术基础理论 | 第30-42页 |
| ·纳米压痕的经典力学方法 | 第30-34页 |
| ·微纳米尺度下压痕硬度的尺寸效应 | 第34-38页 |
| ·Meyer方程和Hays-Kendall方程 | 第34页 |
| ·弹塑性变形模型 | 第34-35页 |
| ·比例试样阻力模型及其修正模型 | 第35页 |
| ·残余面积最大压深模型 | 第35-36页 |
| ·能量平衡模型及其改进模型 | 第36页 |
| ·应变梯度塑性理论 | 第36-38页 |
| ·纳米压痕试验中典型材料的压入变形特点 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 精密原位微纳米级压痕/划痕测试系统的设计分析 | 第42-62页 |
| ·测试系统功能与总体框架 | 第42-43页 |
| ·测试系统功能介绍 | 第42-43页 |
| ·测试系统的总体框架 | 第43页 |
| ·X、Y轴精密定位载物台的设计 | 第43-46页 |
| ·精密压入驱动单元的设计及分析 | 第46-51页 |
| ·柔性铰链结构及其特点 | 第46-48页 |
| ·精密压入驱动单元的设计 | 第48-49页 |
| ·精密压入驱动单元传动机构的有限元分析 | 第49-51页 |
| ·Z轴宏动调整机构的设计 | 第51-52页 |
| ·精密检测单元的组成与原理 | 第52-56页 |
| ·激光位移传感器 | 第52-54页 |
| ·电阻应变式力传感器 | 第54-56页 |
| ·显微成像系统 | 第56-58页 |
| ·精密原位微纳米级压痕/划痕测试系统模型 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 精密原位微纳米级压痕/划痕测试系统的实验研究 | 第62-76页 |
| ·测试系统样机与工作原理 | 第62-63页 |
| ·实验系统及测试方案 | 第63-65页 |
| ·测试系统性能分析 | 第65-71页 |
| ·力传感器的标定 | 第65-69页 |
| ·位移传感器的标定 | 第69-71页 |
| ·测试系统在材料微纳米力学性能测试中的应用 | 第71-73页 |
| ·主要实验步骤 | 第71-72页 |
| ·压痕实验结果分析 | 第72-73页 |
| ·测试结果的影响因素及对策 | 第73-75页 |
| ·测量仪器误差 | 第73页 |
| ·测量方法误差 | 第73-75页 |
| ·测量环境误差 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第6章 结论及研究展望 | 第76-78页 |
| ·结论 | 第76-77页 |
| ·研究展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 摘要 | 第83-85页 |
| Abstract | 第85-87页 |
