三光合一吊舱光学分系统镀膜工艺的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-16页
·论文的研究背景及目的	第8-10页
·光学薄膜技术的发展历程	第10页
·光学薄膜技术的发展现状	第10-11页
·经典光学薄膜的种类	第11-12页
·常见的光学薄膜制备方法	第12-13页
·国内外镀膜设备的对比分析	第13-15页
·论文的主要工作内容	第15-16页
第二章 光学薄膜的基本理论	第16-33页
·薄膜的干涉原理	第16-19页
·单色平面的电磁波	第19页
·平面电磁波在单一界面上的反射和折射	第19-25页
·光学薄膜特性的理论计算	第25-33页
·单层介质膜的反射率	第25-29页
·多层薄膜的特性计算	第29-33页
第三章 三光合一超宽带减反射膜系的设计及分析	第33-56页
·未镀膜基底情况	第33-34页
·普通减反射膜系的设计	第34-40页
·超宽带多波段减反射膜系的设计	第40-52页
·膜系结构的分析	第52-56页
第四章 超宽带多波段减反射膜的制备	第56-64页
·实验设备	第56-59页
·离子辅助沉积技术	第59页
·镀膜前零件表面的处理方法	第59-60页
·膜系制备的工艺过程	第60-61页
·实验结果	第61-62页
·误差分析	第62-64页
第五章 结论	第64-66页
·基本结论	第64-65页
·回顾与展望	第65-66页
致谢	第66-67页
参考文献	第67-68页