| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·超精密机床的概念、发展趋势及现状 | 第12-19页 |
| ·研究的目的与意义 | 第19-20页 |
| ·课题的来源 | 第20页 |
| ·论文的研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 机床溜板纳米分辨率运动的影响因素与优化设计 | 第22-42页 |
| ·影响纳米分辨率运动的测试及实施的条件技术 | 第22-28页 |
| ·实现机床纳米分辨率的的隔振技术 | 第28-33页 |
| ·与机床溜板纳米分辨率有关的单元技术与分析 | 第33-36页 |
| ·多影响因素中目标的优化途径 | 第36-39页 |
| ·纳米分辨率运动系统的技术设计方案 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 无迟滞、自耦合的溜板结构 | 第42-63页 |
| ·多孔质节流器的结构特点研究 | 第42-48页 |
| ·多孔质轴承的流体力学分析 | 第48-52页 |
| ·静压流体模型与CFD仿真分析 | 第52-56页 |
| ·溜板运动过程中导轨副的楔形与激振研究 | 第56-59页 |
| ·自耦合溜板的结构 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 纳米分辨率运动中溜板的微振动 | 第63-80页 |
| ·微振动概念的提出 | 第63-64页 |
| ·微振动的流体成因分析 | 第64-73页 |
| ·外部原因引起的微振动 | 第73-75页 |
| ·抑制微振动的管道模型结构 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第5章 微振动的特征辨识研究 | 第80-96页 |
| ·微振动的频谱分析法特征 | 第80-81页 |
| ·基于小波变换的溜板微振动分析 | 第81-85页 |
| ·溜板微振动的非线性动力学特性辨识 | 第85-92页 |
| ·微振动系统的分形维数及柯嫡 | 第92-93页 |
| ·基于混沌控制的微振动抑制方法 | 第93-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第6章 高分辨率机械传动结构与驱动控制系统 | 第96-114页 |
| ·高分辨率传动结构 | 第96-98页 |
| ·纯滚动技术条件的研究 | 第98-105页 |
| ·可调整预负荷螺母结构 | 第105-106页 |
| ·联结膜片的力学结构 | 第106-108页 |
| ·数控与驱动系统 | 第108-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第7章 相关试验的分析与验证 | 第114-133页 |
| ·对地基的激振扰动实验 | 第114-115页 |
| ·功率谱比较法测定溜板的刚度 | 第115-118页 |
| ·溜板微振动的相位检测 | 第118-121页 |
| ·微振动系统的相轨迹与吸引子 | 第121-128页 |
| ·系统混沌与分形结构 | 第128-129页 |
| ·多孔质轴承微振动抑制后的切削验证 | 第129-130页 |
| ·运动分辨率的最终测试结果 | 第130-132页 |
| ·本章小结 | 第132-133页 |
| 第8章 总结与展望 | 第133-135页 |
| ·全文总结 | 第133-134页 |
| ·工作展望 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-143页 |
| 附件:攻读学位期间发表的学术论文 | 第143-144页 |
| 致谢 | 第144页 |