微波ECR等离子体探针检测的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·微波ECR 等离子体概述 | 第10-13页 |
| ·微波ECR 等离子体特点 | 第10-12页 |
| ·微波ECR 等离子体技术的应用前景 | 第12-13页 |
| ·微波ECR 等离子体诊断方法研究 | 第13-15页 |
| ·微波ECR 等离子体诊断方法的分类 | 第13-14页 |
| ·微波ECR 等离子体诊断方法的选择 | 第14-15页 |
| ·论文研究目的、意义和内容 | 第15-18页 |
| ·论文研究目的和意义 | 第15-17页 |
| ·论文基本内容 | 第17-18页 |
| 第二章 静电探针的测量方法 | 第18-29页 |
| ·静电探针适用范围 | 第18页 |
| ·静电探针的工作原理 | 第18-25页 |
| ·静电单探针的工作原理 | 第20-22页 |
| ·静电双探针的工作原理 | 第22-25页 |
| ·静电探针方法中的几个问题 | 第25-28页 |
| ·探针表面温升 | 第25-26页 |
| ·磁场对探针的影响 | 第26-27页 |
| ·时间响应 | 第27页 |
| ·二次电子发射 | 第27-28页 |
| ·探针污染 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 静电探针测试系统的设计 | 第29-37页 |
| ·静电探针测试系统的搭建 | 第29-30页 |
| ·静电探针测试系统介绍 | 第30-31页 |
| ·系统结构介绍 | 第30-31页 |
| ·系统指标设计 | 第31页 |
| ·静电探针的设计 | 第31-36页 |
| ·设计要点 | 第31-34页 |
| ·探针结构的设计 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 静电探针测试系统硬件电路设计 | 第37-54页 |
| ·扫描电源设计 | 第37-44页 |
| ·C 8051F020 单片机概述 | 第38-39页 |
| ·D /A 转换以及功率放大电路设计 | 第39-44页 |
| ·探针电流电压检测电路设计 | 第44-46页 |
| ·光电隔离器 | 第46-47页 |
| ·单片机采样电路和串行接口电路设计 | 第47-49页 |
| ·单片机A/D 采样设置 | 第47-48页 |
| ·串行接口电路设计 | 第48-49页 |
| ·供电电路设计 | 第49-50页 |
| ·单片机程序设计 | 第50-54页 |
| ·单片机D/A 转换程序设计 | 第51-52页 |
| ·单片机模数采集以及串口通信程序设计 | 第52-54页 |
| 第五章 静电探针测试系统软件设计 | 第54-64页 |
| ·开发工具的选择 | 第54-55页 |
| ·上位机软件的具体实现 | 第55-64页 |
| ·串口数据采集程序设计 | 第56-58页 |
| ·界面程序设计 | 第58-62页 |
| ·数据处理 | 第62-64页 |
| 第六章 微波ECR 等离子体诊断实验 | 第64-71页 |
| ·诊断实验说明 | 第64-65页 |
| ·实验结果分析 | 第65-70页 |
| ·-V 特性曲线分析 | 第65-67页 |
| ·气压对等离子体参数的影响 | 第67-69页 |
| ·微波功率对等离子体参数的影响 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第七章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附录一 实物图 | 第76-77页 |
| 附录二 实物图 | 第77-78页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第78-79页 |
