| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·太阳能电池材料概述 | 第8-10页 |
| ·微晶硅薄膜及其制备方法 | 第10-13页 |
| ·微晶硅薄膜 | 第10-12页 |
| ·微晶硅薄膜制备方法 | 第12-13页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜原理及研究现状 | 第13-19页 |
| ·等离子体化学气相沉积 | 第13-14页 |
| ·等离子体化学气相沉积微晶硅薄膜研究现状 | 第14-16页 |
| ·空心阴极等离子体放电原理及其在沉积微晶硅薄膜方面的应用 | 第16-19页 |
| ·本课题提出的意义及研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验装置及设备 | 第21-29页 |
| ·真空室和空心阴极的设计与加工改造 | 第21-24页 |
| ·气路的设计与连接 | 第24-26页 |
| ·加热基台控温 | 第26页 |
| ·真空和电源设备 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 空心阴极放电特征诊断实验 | 第29-40页 |
| ·空心阴极放电特征诊断实验介绍 | 第29-31页 |
| ·空心阴极放电特征诊断实验步骤 | 第29页 |
| ·空心阴极放电电流电压（I-V）曲线的测量 | 第29-30页 |
| ·空心阴极放电Langmuir 探针测量 | 第30-31页 |
| ·空心阴极放电特征诊断结果 | 第31-39页 |
| ·直流电源空心阴极放电 | 第31-34页 |
| ·脉冲直流电源空心阴极放电 | 第34-36页 |
| ·射频27.12MHz 电源空心阴极放电 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 空心阴极等离子体沉积微晶硅薄膜实验 | 第40-59页 |
| ·空心阴极放电等离子体沉积微晶硅薄膜实验步骤 | 第40页 |
| ·空心阴极放电等离子体沉积微晶硅薄膜表征方法 | 第40-45页 |
| ·傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR) | 第41-42页 |
| ·拉曼(Raman)光谱 | 第42-44页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第44页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第44-45页 |
| ·微晶硅薄膜沉积实验结果与分析 | 第45-54页 |
| ·气体比例的影响 | 第45-47页 |
| ·功率的影响 | 第47-50页 |
| ·温度的影响 | 第50-52页 |
| ·气压的影响 | 第52-53页 |
| ·Ar 气掺杂的影响 | 第53-54页 |
| ·微晶硅薄膜表面形貌表征 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·本课题的主要研究成果与结论 | 第59-60页 |
| ·本论文的创新点 | 第60页 |
| ·下一步工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |