| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-14页 |
| ·论文研究的目的以及主要研究内容 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 2 基于微液滴介质的微型静电式振动发电机设计 | 第15-36页 |
| 2 1 基于微液滴介质的微型静电式振动发电机结构与工作原理 | 第15-19页 |
| ·微液滴材料的选择 | 第19-20页 |
| ·微液滴在微腔体中的动力学特性分析 | 第20-28页 |
| ·微液滴在微腔体中的动力学模型 | 第20-23页 |
| ·毛细现象对微液滴运动的影响 | 第23-25页 |
| ·微液滴在微腔体中的动力学分析 | 第25-28页 |
| ·驻极体电场分析 | 第28-30页 |
| ·系统级仿真 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 微型静电式振动发电机宏尺寸原理样机的研制 | 第36-50页 |
| ·Teflon 驻极体制备 | 第36-42页 |
| ·电晕充电实验装置 | 第36-37页 |
| ·驻极体极化方法研究 | 第37-42页 |
| ·宏尺寸原理样机研制 | 第42-44页 |
| ·宏尺寸原理样机性能测试与分析 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 基于 MEMS 技术的微型静电式振动发电机工艺设计和版图设计 | 第50-56页 |
| ·表面疏水处理 | 第50-51页 |
| ·微型静电式振动发电机制备工艺 | 第51-55页 |
| ·微腔体工艺流程 | 第51-53页 |
| ·驻极体工艺流程 | 第53页 |
| ·微组装工艺流程 | 第53-54页 |
| ·版图设计 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-57页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 附录 | 第62页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |