| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·课题背景 | 第10页 |
| ·类金刚石薄膜的成分、结构和分类 | 第10-14页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第14-18页 |
| ·物理气相沉积 | 第14-16页 |
| ·化学气相沉积 | 第16-18页 |
| ·类金刚石膜的机械性能及应用 | 第18-19页 |
| ·类金刚石膜的摩擦性能研究现状 | 第19-22页 |
| ·工艺方法对类金刚石膜摩擦学性的影响 | 第19-21页 |
| ·类金刚石膜的摩擦机理 | 第21-22页 |
| ·DLC膜存在的主要问题及研究热点 | 第22-24页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 材料及试验方法 | 第25-31页 |
| ·试验材料 | 第25-26页 |
| ·试样的制备 | 第26页 |
| ·试验方法 | 第26-28页 |
| ·试验设备 | 第26页 |
| ·试验工艺的确定 | 第26-28页 |
| ·DLC膜的制备过程 | 第28页 |
| ·分析方法和手段 | 第28-31页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第28页 |
| ·激光Raman光谱分析 | 第28页 |
| ·硬度和弹性模量测试 | 第28-29页 |
| ·残余应力测试 | 第29页 |
| ·薄膜表面形貌观察 | 第29-30页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第30页 |
| ·磨痕形貌观察 | 第30-31页 |
| 第3章 采用不饱和烃乙炔沉积DLC膜的结构性能研究 | 第31-48页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·工艺参数对沉积速率的影响 | 第31-33页 |
| ·中频电压和C_2H_2/H_2 流量比对沉积速率的影响 | 第31-33页 |
| ·占空比对沉积速率的影响 | 第33页 |
| ·工艺参数对DLC膜化学结构的影响 | 第33-41页 |
| ·中频电压对DLC膜结构的影响 | 第34-39页 |
| ·C_2H_2/H_2 流量比对DLC膜结构的影响 | 第39-41页 |
| ·占空比对DLC膜结构的影响 | 第41页 |
| ·DLC膜的纳米力学性能 | 第41-44页 |
| ·中频电压和C_2H_2/H_2 流量比对DLC膜的纳米力学性能影响 | 第42-43页 |
| ·占空比对DLC膜的纳米力学性能影响 | 第43-44页 |
| ·DLC膜的热稳定性 | 第44-46页 |
| ·热处理对DLC膜结构的影响 | 第44-46页 |
| ·热处理对DLC膜力学性能的影响 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 采用饱和烃甲烷沉积DLC膜的结构性能研究 | 第48-60页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·工艺参数对薄膜沉积速率的影响 | 第48-49页 |
| ·工艺参数对DLC膜结构的影响 | 第49-53页 |
| ·电压对DLC膜结构的影响 | 第49-52页 |
| ·CH4/H_2 流量比对DLC膜结构的影响 | 第52-53页 |
| ·DLC膜的表面形貌分析 | 第53-55页 |
| ·DLC膜的力学性能 | 第55-57页 |
| ·DLC膜的纳米硬度和弹性模量 | 第55-56页 |
| ·DLC膜的力学性能分析 | 第56-57页 |
| ·DLC膜的残余应力 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 GCr15 轴承钢表面沉积DLC膜的摩擦性能研究 | 第60-68页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·工艺参数对DLC膜摩擦学性能的影响 | 第60-65页 |
| ·工作电压对摩擦学性能的影响 | 第60-62页 |
| ·CH4/H_2 流量比对摩擦学行为的影响 | 第62-63页 |
| ·沉积时间对摩擦学性能的影响 | 第63-65页 |
| ·DLC膜的摩擦机理 | 第65-66页 |
| ·膜层硬度与摩擦性能的关系 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
