| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第9-16页 |
| ·铜/低k互连工艺简介 | 第9-10页 |
| ·化学机械平整技术概述 | 第10-12页 |
| ·电化学机械平整技术概述 | 第12-16页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 电化学机械平整试验系统及试验方法 | 第18-27页 |
| ·电化学机械平整试验系统 | 第18-20页 |
| ·电化学机械平整试验测量方法 | 第20-25页 |
| ·摩擦信号的测量 | 第20-21页 |
| ·电化学信号的测量 | 第21-23页 |
| ·材料去除率的测量和分析 | 第23-25页 |
| ·电化学机械平整试件、试剂及试验条件 | 第25-26页 |
| ·电化学机械平整试验方案 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 电化学机械平整工艺优化研究 | 第27-45页 |
| ·铜在H_3P0_4 中的电化学机械平整工艺研究 | 第27-34页 |
| ·铜在H_3P0_4 中的LSV曲线 | 第27-29页 |
| ·铜在H_3P0_4 中的静态腐蚀 | 第29-32页 |
| ·铜在H_3P0_4 中的电化学机械平整 | 第32-34页 |
| ·铜在KOH中的电化学机械平整工艺研究 | 第34-35页 |
| ·铜在KOH中的LSV曲线 | 第34-35页 |
| ·铜在磷酸盐中的电化学机械平整工艺研究 | 第35-40页 |
| ·铜在酸性磷酸盐KH_2P0_4 中的电化学机械平整工艺研究 | 第35-37页 |
| ·铜在弱碱性磷酸盐K_2HP0_4 中的电化学机械平整工艺研究 | 第37-38页 |
| ·铜在强碱性磷酸盐K_3P0_4 中的电化学机械平整工艺研究 | 第38-40页 |
| ·铜在H_3P0_4 与KH_2P0_4 混合溶液中的电化学机械平整工艺研究 | 第40-44页 |
| ·铜在H_3P0_4 与KH_2P0_4 混合溶液中的LSV曲线 | 第40-41页 |
| ·铜在H_3P0_4 与KH_2P0_4 混合溶液中的静态腐蚀 | 第41-42页 |
| ·铜在H_3P0_4 与KH_2P0_4 混合溶液中的电化学机械平整 | 第42-44页 |
| ·载荷对电化学机械平整材料去除率的影响 | 第44页 |
| ·转速对电化学机械平整材料去除率的影响 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 电化学机械平整的微观机理分析 | 第45-55页 |
| ·原子力显微镜的工作原理 | 第45-46页 |
| ·电化学机械平整后铜的表面形貌分析 | 第46-48页 |
| ·静态电化学腐蚀后铜的表面形貌分析 | 第48-52页 |
| ·电化学机械平整过程中的微观电化学反应机理 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
