| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 论文背景和研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 微尺度力学性能测量研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 微拉伸法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 纳米压痕法 | 第13-15页 |
| 1.2.3 弯曲法 | 第15-17页 |
| 1.2.4 鼓膜法 | 第17页 |
| 1.2.5 谐振法 | 第17-18页 |
| 1.3 SiC材料结构及其断裂强度的研究现状 | 第18-25页 |
| 1.4 本文主要工作及内容安排 | 第25-27页 |
| 第二章 微悬臂梁弯曲实验理论基础 | 第27-36页 |
| 2.1 FT-MTA02型微力学测试系统实验原理 | 第27-29页 |
| 2.2 NanoTestXtreme型纳米力学综合测试系统实验原理 | 第29-30页 |
| 2.3 悬臂梁断裂强度的计算 | 第30-33页 |
| 2.4 悬臂梁的尺寸设计 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 微悬臂梁制备与残余应力测量 | 第36-48页 |
| 3.1 微悬臂梁制备 | 第36-40页 |
| 3.2 3C-SiC薄膜残余应力测量 | 第40-47页 |
| 3.2.1 基于曲线拟合悬臂梁弯曲挠度法的残余应力分析 | 第41-45页 |
| 3.2.2 基于拉曼光谱法的残余应力分析 | 第45-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 微悬臂梁弯曲实验与实验数据分析 | 第48-70页 |
| 4.1 室温实验 | 第48-51页 |
| 4.1.1 FT-MTA02型微力学测试系统实验过程 | 第48-50页 |
| 4.1.2 NanoTestXtreme型纳米力学综合测试系统实验过程 | 第50-51页 |
| 4.2 室温实验分析 | 第51-61页 |
| 4.2.1 Weibull统计分析理论 | 第51-52页 |
| 4.2.2 FT-MTA02型微力学测试系统室温实验结果分析 | 第52-57页 |
| 4.2.3 NanoTestXtreme型纳米力学综合测试系统实验结果分析 | 第57-61页 |
| 4.3 高温实验与分析 | 第61-67页 |
| 4.4 断裂强度测量误差分析 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 全文总结 | 第70-71页 |
| 5.2 工作展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第76页 |
