微纳3D打印系统及实现
中文摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第9-25页 |
1.1 3D结构的打印需求和研究背景 | 第9-11页 |
1.2 3d打印技术介绍 | 第11-22页 |
1.2.1 几种3D打印原理介绍 | 第11-15页 |
1.2.2 紫外光固化技术国内外发展现状 | 第15-22页 |
1.3 本论文3D打印关键技术 | 第22-25页 |
1.3.1 UV3D打印的基本方法 | 第22-23页 |
1.3.2 论文基本构架 | 第23-25页 |
第二章 光学结构设计与测试 | 第25-31页 |
2.1 曝光量需求分析 | 第25-26页 |
2.2 光学设计 | 第26-27页 |
2.3 光学测试 | 第27-30页 |
2.3.1 覆盖次数与所需曝光强度的要求 | 第28-30页 |
2.3.2 曝光环境研究 | 第30页 |
2.4 本章小节 | 第30-31页 |
第三章 机械需求与设计调制 | 第31-41页 |
3.1 机械要求 | 第31-32页 |
3.2 机械设计 | 第32-38页 |
3.2.1 喷胶刮胶系统设计 | 第32-35页 |
3.2.2 曝光、叠层系统设计 | 第35-38页 |
3.3 系统平行性调试 | 第38-40页 |
3.4 本章小节 | 第40-41页 |
第四章 工艺流程设计与测试 | 第41-47页 |
4.1 工艺流程设计 | 第41-42页 |
4.2 打印涂布方法和脱胶方法测试 | 第42-46页 |
4.2.1 涂布方法 | 第42-44页 |
4.2.2 脱胶方法 | 第44-46页 |
4.3 本章小节 | 第46-47页 |
第五章 系统测试与误差分析 | 第47-56页 |
5.1 结构分辨率和系统精度的单层打印测试 | 第47-50页 |
5.2 多层结构打印测试 | 第50-55页 |
5.2.1 双层结构打印测试 | 第50-52页 |
5.2.2 多层高深宽比打印测试 | 第52-55页 |
5.3 本章小节 | 第55-56页 |
第六章 总结与展望 | 第56-60页 |
6.1 本文主要工作 | 第56-57页 |
6.2 本文主要创新点 | 第57页 |
6.3 未来工作展望 | 第57-60页 |
参考文献 | 第60-63页 |
攻读学位期间公开发表的论文 | 第63-64页 |
致谢 | 第64-65页 |