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微纳3D打印系统及实现

中文摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第9-25页
    1.1 3D结构的打印需求和研究背景第9-11页
    1.2 3d打印技术介绍第11-22页
        1.2.1 几种3D打印原理介绍第11-15页
        1.2.2 紫外光固化技术国内外发展现状第15-22页
    1.3 本论文3D打印关键技术第22-25页
        1.3.1 UV3D打印的基本方法第22-23页
        1.3.2 论文基本构架第23-25页
第二章 光学结构设计与测试第25-31页
    2.1 曝光量需求分析第25-26页
    2.2 光学设计第26-27页
    2.3 光学测试第27-30页
        2.3.1 覆盖次数与所需曝光强度的要求第28-30页
        2.3.2 曝光环境研究第30页
    2.4 本章小节第30-31页
第三章 机械需求与设计调制第31-41页
    3.1 机械要求第31-32页
    3.2 机械设计第32-38页
        3.2.1 喷胶刮胶系统设计第32-35页
        3.2.2 曝光、叠层系统设计第35-38页
    3.3 系统平行性调试第38-40页
    3.4 本章小节第40-41页
第四章 工艺流程设计与测试第41-47页
    4.1 工艺流程设计第41-42页
    4.2 打印涂布方法和脱胶方法测试第42-46页
        4.2.1 涂布方法第42-44页
        4.2.2 脱胶方法第44-46页
    4.3 本章小节第46-47页
第五章 系统测试与误差分析第47-56页
    5.1 结构分辨率和系统精度的单层打印测试第47-50页
    5.2 多层结构打印测试第50-55页
        5.2.1 双层结构打印测试第50-52页
        5.2.2 多层高深宽比打印测试第52-55页
    5.3 本章小节第55-56页
第六章 总结与展望第56-60页
    6.1 本文主要工作第56-57页
    6.2 本文主要创新点第57页
    6.3 未来工作展望第57-60页
参考文献第60-63页
攻读学位期间公开发表的论文第63-64页
致谢第64-65页

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