| 摘要 | 第4-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 气体传感器 | 第13-15页 |
| 1.1.1 气体传感器的研究意义 | 第13页 |
| 1.1.2 气体传感器的分类 | 第13-14页 |
| 1.1.3 气体传感器的发展前景 | 第14-15页 |
| 1.2 微气体传感器简介 | 第15页 |
| 1.3 有限元分析软件ANSYS简介 | 第15-23页 |
| 1.3.1 有限元分析软件ANSYS的常用工具 | 第15-16页 |
| 1.3.2 ANSYS热场分布分析 | 第16-21页 |
| 1.3.3 有限元静态磁场分析 | 第21-23页 |
| 1.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 A型微热板式气体传感器的设计及优化 | 第24-30页 |
| 2.1 A型气体传感器微热板的结构设计 | 第24-25页 |
| 2.2 A型气体传感器微热板的热场分析与优化 | 第25-28页 |
| 2.2.1 A型气体传感器微热板基底的分析与优化 | 第25-26页 |
| 2.2.2 A型气体传感器微热板加热电极的分析与优化 | 第26-27页 |
| 2.2.3 A型气体传感器微热板信号电极的分析与优化 | 第27-28页 |
| 2.3 A型气体传感器微热板的电磁场分析 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 B型微热板式气体传感器的设计及优化 | 第30-36页 |
| 3.1 B型气体传感器微热板的结构设计 | 第30页 |
| 3.2 B型气体传感器微热板的热场分析及优化 | 第30-34页 |
| 3.2.1 B型气体传感器微热板基底的分析及优化 | 第30-31页 |
| 3.2.2 B型气体传感器微热板加热电极的分析及优化 | 第31-33页 |
| 3.2.3 B型气体传感器微热板信号电极的分析及优化 | 第33-34页 |
| 3.3 B型气体传感器微热板的电磁场分析 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 C型微热板式气体传感器微热板的设计及优化 | 第36-42页 |
| 4.1 C型气体传感器微热板的结构设计 | 第36页 |
| 4.2 C型气体传感器微热板的热场分析及优化 | 第36-40页 |
| 4.2.1 C型气体传感器微热板基底的分析及优化 | 第36-37页 |
| 4.2.2 C型气体传感器微热板加热电极的分析及优化 | 第37-39页 |
| 4.2.3 C型气体传感器微热板测量电极的分析及优化 | 第39-40页 |
| 4.3 C型气体传感器微热板的电磁场分析 | 第40-41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 三种微热板式气体传感器对比分析 | 第42-44页 |
| 5.1 三种气体传感器微热板的热场对比分析 | 第42页 |
| 5.2 三种气体传感器微热板的磁场分布对比分析 | 第42-43页 |
| 5.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第六章 基于氧化锌的三种微热板式气体传感器比较 | 第44-48页 |
| 6.1 氧化锌气敏材料简介 | 第44-45页 |
| 6.2 基于氧化锌A型微热板式气体传感器的热场分析 | 第45页 |
| 6.3 基于氧化锌B型微热板式气体传感器的热场分析 | 第45-46页 |
| 6.4 基于氧化锌C型微热板式气体传感器的热场分析 | 第46-47页 |
| 6.5 基于氧化锌的三种微热板式气体传感器的热场比较 | 第47页 |
| 6.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第七章 结论与展望 | 第48-51页 |
| 7.1 结论 | 第48-49页 |
| 7.2 展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 附录 有限元分析中用到的材料的物性参数 | 第56-57页 |
| 作者简介及科研成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
