多晶硅还原炉尾气系统磨损研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 变量注释表 | 第18-22页 |
| 1 绪论 | 第22-26页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第22-24页 |
| 1.2 课题提出与意义 | 第24页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第24-26页 |
| 2 文献综述 | 第26-35页 |
| 2.1 气流场中颗粒运动行为研究概述 | 第26-28页 |
| 2.2 气流场中颗粒冲蚀磨损研究概述 | 第28-33页 |
| 2.3 气流场中颗粒冲蚀防护研究现状 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 多晶硅还原炉尾气系统气固物性与颗粒产生原因 | 第35-47页 |
| 3.1 改良西门子法多晶硅生产系统概述 | 第35-38页 |
| 3.2 尾气系统中气体和硅颗粒物性 | 第38-43页 |
| 3.3 尾气系统中硅颗粒的产生原因 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 4 多晶硅还原炉尾气系统磨损研究的数学方法 | 第47-68页 |
| 4.1 ANSYS FLUENT冲蚀数值模拟介绍 | 第47-50页 |
| 4.2 还原炉尾气系统气固流动行为 | 第50-59页 |
| 4.3 还原炉尾气系统颗粒冲蚀破坏 | 第59-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 5 多晶硅还原炉尾气出口管道磨损研究 | 第68-86页 |
| 5.1 还原炉尾气出口管道磨损数值计算过程 | 第68-71页 |
| 5.2 还原炉尾气出口管道磨损的局部特性 | 第71-76页 |
| 5.3 工况对还原炉尾气出口管道磨损的影响 | 第76-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-86页 |
| 6 多晶硅还原炉尾气汇流管道磨损研究 | 第86-104页 |
| 6.1 还原炉尾气汇流管道磨损数值计算过程 | 第86-89页 |
| 6.2 还原炉尾气汇流管道磨损的局部特性 | 第89-92页 |
| 6.3 工况对还原炉尾气汇流管道磨损的影响 | 第92-102页 |
| 6.4 本章小结 | 第102-104页 |
| 7 多晶硅还原炉尾气系统冲蚀磨损的防护 | 第104-113页 |
| 7.1 尾气系统冲蚀磨损的主动防护 | 第104-110页 |
| 7.2 尾气系统冲蚀磨损的被动防护 | 第110-111页 |
| 7.3 尾气系统磨损区域壁厚监测 | 第111-112页 |
| 7.4 本章小结 | 第112-113页 |
| 8 总结与展望 | 第113-116页 |
| 8.1 总结 | 第113-115页 |
| 8.2 展望 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-120页 |
| 作者简历 | 第120-122页 |
| 学位论文数据集 | 第122页 |
