超精密定位及控制技术的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 超精密定位的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 超精密位移检测技术 | 第10-12页 |
| 1.2.2 超精密宏微驱动技术 | 第12页 |
| 1.2.3 宏微复合式驱动平台的控制策略 | 第12-13页 |
| 1.3 本课题的研究目标及内容 | 第13-15页 |
| 1.3.1 课题研究的目标 | 第13页 |
| 1.3.2 课题研究的内容 | 第13-15页 |
| 第2章 基于光栅衍射的位移测量原理及仿真 | 第15-33页 |
| 2.1 光栅结构原理 | 第15-16页 |
| 2.2 光栅衍射的测量原理 | 第16-20页 |
| 2.2.1 单光栅衍射原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 双光栅衍射原理 | 第18-20页 |
| 2.3 透射式双光栅衍射测量模型的建立 | 第20-26页 |
| 2.3.1 透射特性分析 | 第20-22页 |
| 2.3.2 透射式衍射测量模型的建立 | 第22-24页 |
| 2.3.3 光栅间隙的确定 | 第24-26页 |
| 2.4 透射式双光栅衍射测量模型的仿真 | 第26-31页 |
| 2.4.1 衍射光栅的数值分析 | 第26-28页 |
| 2.4.2 透射光栅衍射的二维及三维仿真结果 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 超精密复合式宏微定位系统设计 | 第33-47页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 超精密定位定位装置结构框图的介绍 | 第33-35页 |
| 3.2.1 复合式宏微定位系统设计 | 第33-34页 |
| 3.2.2 复合式宏微定位控制系统 | 第34-35页 |
| 3.3 超精密定位的宏定位系统设计与分析 | 第35-37页 |
| 3.3.1 宏驱动工作原理及传动设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 宏定位的算法设计 | 第36-37页 |
| 3.4 超精密定位的微定位系统设计与分析 | 第37-43页 |
| 3.4.1 微定位系统设计 | 第37-38页 |
| 3.4.2 基于压电陶瓷的微定位系统 | 第38-43页 |
| 3.4.3 微定位的算法设计 | 第43页 |
| 3.5 宏微定位系统分析及实验验证 | 第43-46页 |
| 3.5.1 复合双重定位算法 | 第44-45页 |
| 3.5.2 实验结果分析 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 压电陶瓷微定位的输出特性及控制技术研究 | 第47-63页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 压电陶瓷驱动器的特性检测与分析 | 第47-52页 |
| 4.2.1 压电陶瓷迟滞特性分析 | 第47-48页 |
| 4.2.2 压电陶瓷响应特性分析 | 第48-49页 |
| 4.2.3 压电陶瓷蠕变特性分析 | 第49-52页 |
| 4.3 压电工作台神经网络建模 | 第52-57页 |
| 4.3.1 神经网络结构设计 | 第52-55页 |
| 4.3.2 神经网络建模及训练结果 | 第55-57页 |
| 4.4 压电陶瓷微定位器自适应控制器的设计 | 第57-61页 |
| 4.4.1 神经网络自适应控制方法 | 第57-59页 |
| 4.4.2 神经网络PID控制器的算法 | 第59-60页 |
| 4.4.3 定位实验及结果分析 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 回顾与总结 | 第63-64页 |
| 5.2 研究工作的展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
