| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 选题背景与研究意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第9页 |
| 1.1.2 MEMS 研究的意义 | 第9-10页 |
| 1.2 MEMS 的国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.1 世界 MEMS 的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 我国 MEMS 的研究现状 | 第11页 |
| 1.3 MEMS 的应用与发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.3.1 MEMS 的应用 | 第11-12页 |
| 1.3.2 MEMS 发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.4 悬臂梁式微加速度计的仿真模拟方法 | 第13-15页 |
| 1.4.1 悬臂梁结构特性的模拟方法 | 第14页 |
| 1.4.2 悬臂梁气动性能的模拟方法 | 第14-15页 |
| 1.5 论文的主要内容与章节安排 | 第15-16页 |
| 1.6 本章小结 | 第16-18页 |
| 第二章 微机电系统与微加速度计 | 第18-26页 |
| 2.1 微机电系统（MEMS） | 第18-19页 |
| 2.2 微电子机械系统器件 | 第19-20页 |
| 2.2.1 MEMS 器件的类型及其功能 | 第19-20页 |
| 2.2.2 MEMS 器件的尺寸效应 | 第20页 |
| 2.3 微加速度计 | 第20-25页 |
| 2.3.1 微加速度计的工作原理 | 第20-21页 |
| 2.3.2 悬臂梁式微加速度计的等效结构实体模型 | 第21-23页 |
| 2.3.3 微加速度计的应用 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 悬臂梁式微加速计的有限元建模与仿真分析 | 第26-38页 |
| 3.1 仿真软件 ANSYS Workbench 的简介 | 第26-27页 |
| 3.2 悬臂梁有限元分析求解 | 第27-28页 |
| 3.3 悬臂梁式微加速计的有限元建模 | 第28-30页 |
| 3.3.1 悬臂梁三维模型 | 第28-29页 |
| 3.3.2 材料属性参数 | 第29页 |
| 3.3.3 网格划分 | 第29-30页 |
| 3.3.4 边界条件 | 第30页 |
| 3.4 微悬臂梁的模态分析 | 第30-34页 |
| 3.4.1 微悬臂梁的静模态分析 | 第30-32页 |
| 3.4.2 微悬臂梁的动模态分析 | 第32-34页 |
| 3.5 微悬臂梁的谐响应分析 | 第34-36页 |
| 3.6 悬臂梁式微加速度计的频响 | 第36页 |
| 3.7 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 微悬臂梁气动性能的仿真分析 | 第38-58页 |
| 4.1 FLUENT 软件的求解方法 | 第38-39页 |
| 4.1.1 制定求解方案 | 第38页 |
| 4.1.2 设置求解步骤 | 第38-39页 |
| 4.2 微悬臂梁气动性能的模拟方法 | 第39-41页 |
| 4.2.1 湍流数学模型 | 第39-40页 |
| 4.2.2 湍流控制方程 | 第40-41页 |
| 4.3 微悬臂梁周围流场的气动性能模拟 | 第41-48页 |
| 4.3.1 微悬臂梁周围流场的模型 | 第41-42页 |
| 4.3.2 悬臂梁 2D 周围流场的网格划分 | 第42-43页 |
| 4.3.3 设置边界条件 | 第43页 |
| 4.3.4 参数求解与及其收敛结果 | 第43-44页 |
| 4.3.5 悬臂梁周围流场仿真及结果分析 | 第44-48页 |
| 4.4 微悬臂梁表面的气动性能模拟 | 第48-56页 |
| 4.4.1 微悬臂梁流场模型 | 第49页 |
| 4.4.2 悬臂梁 3D 流场模型的网格划分 | 第49-50页 |
| 4.4.3 设置边界条件 | 第50页 |
| 4.4.4 参数求解及其收敛结果 | 第50-51页 |
| 4.4.5 悬臂梁表面流场仿真及结果分析 | 第51-56页 |
| 4.5 悬臂梁式微加速度计的量程 | 第56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论与展望 | 第58-60页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |