| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·概述 | 第10页 |
| ·随机表面的表征 | 第10-14页 |
| ·随机表面的一阶统计函数 | 第10-12页 |
| ·随机表面的二阶统计函数 | 第12-14页 |
| ·随机表面的测量方法 | 第14-17页 |
| ·接触式测量法 | 第15-16页 |
| ·非接触式测量法 | 第16-17页 |
| ·本文的主要内容 | 第17-20页 |
| 第二章 自仿射分形随机表面的散射理论及统计参量计算 | 第20-26页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·自仿射分形随机表面模型 | 第20-22页 |
| ·自仿仿射分形随机表面的散射轮廓函数的近似计算 | 第22-24页 |
| ·在散射轮廓函数中确定自仿射分形随机表面参量 | 第24-26页 |
| 第三章 各向异性随机表面的散射方位曲线推导及表面光场的测量 | 第26-38页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·各向异性随机表面的散射方位曲线推导 | 第26-28页 |
| ·散射光场的测量 | 第28-32页 |
| ·光散射的实验结果 | 第32-35页 |
| ·实验结果的分析 | 第35-38页 |
| 第四章 傅立叶变换法对各向异性随机表面参量的反演 | 第38-48页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·粗糙各向异性硅片表面的 AFM 测量及其自相关函数 | 第38-41页 |
| ·散射光强轮廓傅立叶变换与表面统计参量提 | 第41-46页 |
| ·理论分析 | 第41-43页 |
| ·光散射轮廓的傅立叶变换 | 第43-46页 |
| ·结论 | 第46-48页 |
| 第五章 总结及展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 攻读硕士期间主要研究成果 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
