| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 非球面光学元件面型测量的国内外发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 几何光学法 | 第9-10页 |
| 1.2.2 干涉测量法 | 第10-13页 |
| 1.3 衍射光学元件轮廓检测的国内外发展现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 非球面谐衍射元件轮廓测量方案设计 | 第15-33页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 非球面谐衍射元件面型基本特性分析 | 第15-17页 |
| 2.2.1 非球面基本特性分析 | 第15-16页 |
| 2.2.2 谐衍射元件基本特性分析 | 第16-17页 |
| 2.2.3 谐衍射元件面型的数学描述 | 第17页 |
| 2.3 预扫描方案设计 | 第17-20页 |
| 2.4 宏微复合轮廓测量扫描方案设计 | 第20-23页 |
| 2.4.1 基底轮廓扫描方案设计 | 第22页 |
| 2.4.2 台阶轮廓扫描方案设计 | 第22-23页 |
| 2.5 台阶微结构提取方案设计 | 第23-26页 |
| 2.5.1 台阶边缘位置提取 | 第23-25页 |
| 2.5.2 台阶高度计算 | 第25页 |
| 2.5.3 基底数据分离方案设计 | 第25-26页 |
| 2.6 高斯滤波 | 第26-30页 |
| 2.7 零级衍射面轮廓曲线的拟合分析 | 第30-32页 |
| 2.7.1 Levenberg-Marquardt 算法 | 第30-31页 |
| 2.7.2 拟合效果仿真分析 | 第31-32页 |
| 2.8 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 坐标系偏移误差模型分析 | 第33-44页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 测量数据误差模型分析 | 第33-40页 |
| 3.2.1 X 向偏心误差模型分析 | 第34-37页 |
| 3.2.2 Y 向偏心误差模型分析 | 第37-38页 |
| 3.2.3 倾斜误差模型分析 | 第38-40页 |
| 3.3 偏心测量误差校准 | 第40-42页 |
| 3.4 倾斜测量误差校准 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小节 | 第43-44页 |
| 第4章 光学测头设计及软件相关模块研发 | 第44-53页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 共焦光学测头机械设计 | 第44-46页 |
| 4.3 基于 Labview 平台的测量软件设计 | 第46-52页 |
| 4.3.1 软件总体方案设计 | 第46-48页 |
| 4.3.2 重要子功能模块设计 | 第48-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第53-66页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 共焦轴向特性测量能力验证实验 | 第53-55页 |
| 5.3 曲率测量能力验证实验 | 第55-58页 |
| 5.4 非球面谐衍射元件轮廓测量实验 | 第58-64页 |
| 5.4.1 基底轮廓分离 | 第59-61页 |
| 5.4.2 高斯滤波实验效果验证 | 第61-63页 |
| 5.4.3 Levenberg-Marquardt 算法拟合实验 | 第63-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73页 |