| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的结构及种类 | 第9-12页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的制备方法 | 第12-19页 |
| 1.3.1 类金刚石薄膜的沉积机理 | 第12-14页 |
| 1.3.2 物理气相沉积 | 第14-17页 |
| 1.3.3 化学气相沉积 | 第17-18页 |
| 1.3.4 液相沉积 | 第18-19页 |
| 1.4 类金刚石薄膜的应用 | 第19-21页 |
| 1.5 国内外研究现状 | 第21-23页 |
| 1.6 本课题的研究目的及研究内容 | 第23-27页 |
| 第二章 薄膜制备与实验方法 | 第27-33页 |
| 2.1 薄膜制备 | 第27-28页 |
| 2.1.1 镀膜设备及工艺步骤 | 第27-28页 |
| 2.1.2 基体材料 | 第28页 |
| 2.2 薄膜的形貌与结构表征 | 第28-29页 |
| 2.2.1 表面形貌表征 | 第28页 |
| 2.2.2 薄膜成分结构表征 | 第28-29页 |
| 2.3 薄膜的机械性能及电化学腐蚀性能测试 | 第29-32页 |
| 2.3.1 薄膜的纳米硬度测试 | 第29页 |
| 2.3.2 薄膜摩擦学测试 | 第29-31页 |
| 2.3.3 薄膜的电化学腐蚀性能测试 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 类金刚石薄膜的结构和力学性能 | 第33-39页 |
| 3.1 类金刚石薄膜的形貌分析 | 第33-34页 |
| 3.1.1 SEM分析 | 第33页 |
| 3.1.2 TEM分析 | 第33-34页 |
| 3.2 类金刚石薄膜的结构分析 | 第34-36页 |
| 3.2.1 薄膜拉曼光谱分析 | 第34-36页 |
| 3.2.2 薄膜XRD分析 | 第36页 |
| 3.3 类金刚石薄膜的力学性能测试 | 第36-38页 |
| 3.3.1 薄膜的纳米硬度和弹性模量 | 第36-37页 |
| 3.3.2 薄膜的表面粗糙度 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 类金刚石薄膜的机械性能及电化学腐蚀性能研究 | 第39-55页 |
| 4.1 类金刚石薄膜的环境摩擦学特性研究 | 第39-44页 |
| 4.1.1 干摩擦条件下类金刚石薄膜的摩擦学特性 | 第39-41页 |
| 4.1.2 水润滑条件下类金刚石薄膜的摩擦学特性 | 第41-43页 |
| 4.1.3 油润滑条件下类金刚石薄膜的摩擦学特性 | 第43-44页 |
| 4.2 类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究 | 第44-49页 |
| 4.2.1 类金刚石薄膜在ω=3.5% NaCl溶液中的电化学腐蚀性 | 第45-46页 |
| 4.2.2 类金刚石薄膜在ω=10% HCl溶液中的电化学腐蚀性性能 | 第46-47页 |
| 4.2.3 类金刚石薄膜在ω=20% NaOH溶液中的电化学腐蚀性性能 | 第47-49页 |
| 4.3 掺Ti类金刚石薄膜的机械性能研究 | 第49-53页 |
| 4.3.1 掺Ti量对薄膜硬度的影响 | 第49-51页 |
| 4.3.2 掺Ti量对薄膜摩擦学特性的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.3 掺Ti量对薄膜膜基结合力的影响 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 本文的主要研究工作及结论 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 硕士期间发表论文 | 第67页 |
