| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 谐振式微加速度计的国内外研究现状与分析 | 第11-16页 |
| 1.2.1 谐振式微加速度计的研制现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 MEMS器件温度效应的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.3 谐振类MEMS非线性动力学特性的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 本文的工作及内容安排 | 第16-17页 |
| 第2章 静电刚度式谐振微加速度计系统建模 | 第17-35页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 MEMS器件建模方法简介 | 第17-21页 |
| 2.2.1 基于有限元法建模 | 第17-18页 |
| 2.2.2 宏建模建立的方法 | 第18-21页 |
| 2.2.2.1 宏模型建立的解析方法 | 第18-19页 |
| 2.2.2.2 宏模型建立的数值方法 | 第19-21页 |
| 2.3 加速度计解析宏模型的建立 | 第21-34页 |
| 2.3.1 加速度计微梁控制方程的推导 | 第21-24页 |
| 2.3.2 振型函数 | 第24-32页 |
| 2.3.3 基于集总参数法建立微梁系统的宏模型 | 第32-33页 |
| 2.3.4 基于伽辽金法建立微梁系统的宏模型 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 加速度计静态特性的温度效应 | 第35-52页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 静电刚度式谐振微加速度计的工作原理 | 第35-41页 |
| 3.2.1 加速度计的基本结构 | 第35-36页 |
| 3.2.2 加速度计的静电力 | 第36-38页 |
| 3.2.3 加速度计的关键性能指标 | 第38-41页 |
| 3.3 加速度计关键性能指标的温度效应 | 第41-47页 |
| 3.3.1 微梁轴向热应力的理论计算 | 第41-45页 |
| 3.3.2 微梁固有频率的温度效应 | 第45-46页 |
| 3.3.3 加速度计标度因子的温度效应 | 第46-47页 |
| 3.4 提高加速度计标度因子热稳定性的方案 | 第47-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 加速度计非线性动力学特性的温度效应 | 第52-64页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 加速度计非线性受迫振动的温度效应 | 第52-57页 |
| 4.2.1 求解过程 | 第52-55页 |
| 4.2.2 求解结果分析 | 第55-57页 |
| 4.3 加速度计非线性幅频特征的温度效应 | 第57-63页 |
| 4.3.1 多尺度摄动分析 | 第57-60页 |
| 4.3.2 幅频响应特征的温度效应 | 第60-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 总结与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第74页 |
| A.发表论文情况 | 第74页 |
| B.参加科研项目 | 第74页 |