| 摘要 | 第10-14页 |
| ABSTRACT | 第14-18页 |
| 第一章 绪论 | 第19-59页 |
| 1.1 微悬臂梁概述 | 第19-28页 |
| 1.1.1 微悬臂梁结构 | 第19-20页 |
| 1.1.2 微悬臂梁振动模型 | 第20-26页 |
| 1.1.3 微悬臂梁的工作模式 | 第26-28页 |
| 1.2 微悬臂梁的品质因子 | 第28-33页 |
| 1.2.1 空气阻尼损耗 | 第28-30页 |
| 1.2.2 热弹性损耗 | 第30-31页 |
| 1.2.3 支撑损耗 | 第31-32页 |
| 1.2.4 表面能量损耗 | 第32-33页 |
| 1.3 基于微悬臂梁激励方法的研究现状 | 第33-40页 |
| 1.3.1 压电效应激励 | 第33-34页 |
| 1.3.2 电场力激励 | 第34-35页 |
| 1.3.3 挠曲电激发 | 第35-36页 |
| 1.3.4 肖特基势垒激励 | 第36-37页 |
| 1.3.5 磁场激励 | 第37页 |
| 1.3.6 声波激励 | 第37-38页 |
| 1.3.7 光热激励 | 第38-40页 |
| 1.4 微悬臂梁的发展现状及未来发展方向 | 第40-45页 |
| 1.4.1 悬臂梁的发展现状 | 第40-42页 |
| 1.4.2 微悬臂梁传感器的发展现状 | 第42-44页 |
| 1.4.3 微悬臂梁的发展方向 | 第44-45页 |
| 1.5 研究目的与拟解决的问题 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-59页 |
| 第二章 基于光声效应激励微悬臂梁振动特性的研究 | 第59-74页 |
| 2.1 引言 | 第59页 |
| 2.2 实验方案的设计及其可行性分析 | 第59-65页 |
| 2.2.1 光声效应理论 | 第59-60页 |
| 2.2.2 基于光声效应激励微悬臂梁振动的实验方案设计 | 第60-63页 |
| 2.2.3 实验方案的可行性分析 | 第63-65页 |
| 2.3 光声激励和光热激励对微悬臂梁共振特性的影响 | 第65-68页 |
| 2.3.1 光声激励和光热激励对微悬臂梁共振频率的影响 | 第65-67页 |
| 2.3.2 光声激励和光热激励对微悬臂梁品质因子的影响 | 第67-68页 |
| 2.4 光声激励微悬臂梁振动振幅的光功率依赖 | 第68-69页 |
| 2.5 光声效应声源和梁距离对微悬臂梁振幅的影响 | 第69-71页 |
| 2.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 第三章 利用局域等离激元结构提高光热激励效率 | 第74-96页 |
| 3.1 引言 | 第74页 |
| 3.2 金属局域表面等离激元结构及光热性质 | 第74-78页 |
| 3.2.1 单个纳米颗粒的光热效应 | 第76-77页 |
| 3.2.2 纳米颗粒群的光热效应 | 第77-78页 |
| 3.3 悬臂梁表面局域等离激元结构的制备和光学性质 | 第78-82页 |
| 3.3.1 溅射退火法制备金局域等离激元 | 第78-81页 |
| 3.3.2 金局域等离激元结构的光学性质 | 第81-82页 |
| 3.4 局域等离激元结构微悬臂梁的光热激发 | 第82-85页 |
| 3.4.1 实验设置 | 第82-83页 |
| 3.4.2 光热激发效率的波长依赖性 | 第83-85页 |
| 3.5 纳米颗粒尺寸和占空比对激励效率提高的影响 | 第85-87页 |
| 3.6 微悬臂梁长度对激励效率提高的影响 | 第87-89页 |
| 3.7 功率依赖及应用 | 第89页 |
| 3.8 本章小结 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-96页 |
| 第四章 利用双光束系统调节微悬臂梁的共振特性及应用 | 第96-109页 |
| 4.1 引言 | 第96页 |
| 4.2 实验设计方案 | 第96-97页 |
| 4.3 不同激光功率下的梁频率响应 | 第97-98页 |
| 4.4 光热效应调制共振频率及应用 | 第98-102页 |
| 4.4.1 共振频率的温度依赖性 | 第98-100页 |
| 4.4.2 应用 | 第100-102页 |
| 4.5 光热效应调制共振振幅及应用 | 第102-105页 |
| 4.5.1 共振振幅的温度依赖性 | 第102-104页 |
| 4.5.2 应用 | 第104-105页 |
| 4.6 本章小结 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-109页 |
| 第五章 基于低频调制光中的高阶傅里叶谐波激励微悬臂梁的高阶共振 | 第109-116页 |
| 5.1 引言 | 第109页 |
| 5.2 实验方案 | 第109-111页 |
| 5.3 光热激励效率的位置依赖性 | 第111-112页 |
| 5.4 激发机制 | 第112页 |
| 5.5 实验结果及讨论 | 第112-114页 |
| 5.6 本章小结 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-116页 |
| 第六章 结论与展望 | 第116-119页 |
| 6.1 主要结论 | 第116-117页 |
| 6.2 论文创新点 | 第117-118页 |
| 6.3 需要进一步研究的问题 | 第118-119页 |
| 附录 | 第119-123页 |
| 1. 基于微悬臂梁的PM 2.5传感器研究 | 第119-120页 |
| 2. 检测人体心率的可穿戴设备研究 | 第120-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 攻读博士期间已发表的论文及专利 | 第124-126页 |
| 附件 | 第126-140页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第140页 |
