| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究的目的和意义 | 第11页 |
| 1.2 太阳能电池硅晶片表面质量检测国内外研究概况 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国外关于太阳能电池硅晶片质量检测技术研究情况 | 第12-14页 |
| 1.2.2 国内关于太阳能硅晶片质量检测技术研究情况 | 第14-15页 |
| 1.3 本论文研究的主要目的和内容 | 第15-17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 用于太阳能电池硅晶片质量检测条纹反射系统理论分析 | 第18-27页 |
| 2.1 条纹反射三维面形测量技术基本原理 | 第18-20页 |
| 2.2 相位展开方法 | 第20-25页 |
| 2.2.1 实验结果分析 | 第23-25页 |
| 2.3 影响条纹反射测量精度因数分析 | 第25页 |
| 2.3.1 系统标定 | 第25页 |
| 2.3.2 系统多义性 | 第25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 用于太阳能电池硅晶片质量检测条纹反射系统标定 | 第27-43页 |
| 3.1 CCD相机标定方法 | 第27-36页 |
| 3.1.1 坐标系简介 | 第27-30页 |
| 3.1.3 相机非线性模型 | 第30-32页 |
| 3.1.4 基于 3D立体靶标的相机标定 | 第32-35页 |
| 3.1.5 基于平面标定靶的相机标定 | 第35-36页 |
| 3.2 参考面位置标定 | 第36-37页 |
| 3.3 显示屏空间位置及系统参数计算方法 | 第37-38页 |
| 3.4 标定实验结果分析 | 第38-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 太阳能电池硅晶片质量检测系统多义性分析 | 第43-51页 |
| 4.1 系统摆放误差对梯度测量的影响 | 第43-44页 |
| 4.2 任意测量系统模型相位梯度高度的映射关系 | 第44-46页 |
| 4.3 仿真与实验结果分析 | 第46-50页 |
| 4.3.1 待测物体的厚度对梯度测量的影响 | 第46-47页 |
| 4.3.2 待测物体的梯度对梯度测量的影响 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 太阳能电池硅晶片表面质量检测 | 第51-59页 |
| 5.1 太阳能电池硅晶片表面特性分析 | 第51-52页 |
| 5.2 太阳能电池硅晶片实验结果分析 | 第52-56页 |
| 5.3 系统测量精度分析 | 第56-57页 |
| 5.4 实验误差分析 | 第57-58页 |
| 5.4.1 CCD量化误差 | 第57-58页 |
| 5.4.2 系统非线性噪声误差 | 第58页 |
| 5.4.3 系统多义性误差 | 第58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 本文研究总结 | 第59-60页 |
| 6.2 前景展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第65-66页 |
