| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 光互连 | 第13-14页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第13页 |
| 1.1.2 光互连的分类 | 第13-14页 |
| 1.2 垂直耦合器的研究意义 | 第14-16页 |
| 1.3 国内外研究进展 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 聚合物光波导垂直耦合器的理论基础 | 第19-29页 |
| 2.1 矩形光波导理论 | 第19-21页 |
| 2.1.1 马卡梯里方法 | 第19-20页 |
| 2.1.2 有效折射率法 | 第20-21页 |
| 2.2 垂直腔体表面发射激光器 | 第21-24页 |
| 2.3 反射膜理论 | 第24-28页 |
| 2.3.1 金属反射膜 | 第24-25页 |
| 2.3.2 介质反射膜 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 聚合物光波导垂直耦合器的参数计算和仿真分析 | 第29-36页 |
| 3.1 耦合器的理论分析 | 第29-31页 |
| 3.1.1 参数设定 | 第30页 |
| 3.1.2 耦合效率的理论计算 | 第30-31页 |
| 3.2 耦合器的仿真分析 | 第31-33页 |
| 3.2.1 ZEMAX软件介绍 | 第31-32页 |
| 3.2.2 系统仿真 | 第32-33页 |
| 3.3 仿真对比分析 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 聚合物光波导垂直耦合器的工艺制作 | 第36-47页 |
| 4.1 聚合物光波导制作的基本实验步骤 | 第36-37页 |
| 4.2 掩膜版的设计 | 第37页 |
| 4.3 矩形波导的制作 | 第37-40页 |
| 4.3.1 波导下包层的制备 | 第38页 |
| 4.3.2 波导芯层的制作和图案的形成 | 第38-40页 |
| 4.4 光波导垂直耦合器的制作 | 第40-45页 |
| 4.4.1 制作方法设计 | 第41-43页 |
| 4.4.2 耦合器的制作 | 第43-45页 |
| 4.5 耦合器反射膜的镀制 | 第45-46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 聚合物光波导垂直耦合器的性能测试 | 第47-57页 |
| 5.1 矩形波导功率测试 | 第47-50页 |
| 5.1.1 通光测试 | 第47-49页 |
| 5.1.2 矩形波导传输损耗测试 | 第49-50页 |
| 5.2 垂直耦合器的耦合效率测试 | 第50-54页 |
| 5.3 垂直耦合器镀膜测试 | 第54-56页 |
| 5.3.1 铝膜反射率测试 | 第54-55页 |
| 5.3.2 镀膜耦合效率测试及后续工作 | 第55-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 总结 | 第57页 |
| 6.2 展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |