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高刚度超精密气体静压导轨副关键技术研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-15页
    1.1 课题研究背景及意义第9-10页
    1.2 气体润滑理论发展概况第10-13页
    1.3 本文的主要研究内容第13-15页
        1.3.1 研究目标第13-14页
        1.3.2 研究内容第14-15页
2 多孔质气体静压止推轴承特性分析第15-21页
    2.1 多孔质节流概述第15-16页
    2.2 多孔质材料渗透率第16-17页
    2.3 多孔质节流器的设计原理第17-19页
        2.3.1 多孔质气体静压止推轴承静态性能第17-18页
        2.3.2 多孔质气体静压止推轴承的动态特性第18-19页
    2.4 FLUENT在多孔质气体静压止推轴承特性分析中的应用第19-20页
    2.5 本章小结第20-21页
3 凹面多孔质气体静压直推轴承静态特性分析第21-33页
    3.1 气体静压直推轴承模型建立及网格划分第21-22页
    3.2 边界条件设定及参数设置第22页
    3.3 结果分析第22-27页
        3.3.1 凹面高度对气体静压止推轴承静态特性的影响第22-25页
        3.3.2 供气压力对气体静压止推轴承压力分布的影响第25-26页
        3.3.3 气膜间隙对气体静压止推轴承压力分布的影响第26页
        3.3.4 多孔质厚度对气体静压止推轴承压力分布的影响第26-27页
    3.4 流固耦合分析第27-32页
    3.5 本章小结第32-33页
4 多孔质气体静压导轨副模态特性分析第33-44页
    4.1 多孔质气体静压导轨副模型建立及网格划分第33-34页
    4.2 运动副模态方程建立第34-35页
    4.3 多孔质气体静压导轨副理论模态分析第35-39页
        4.3.1 自由状态第35-36页
        4.3.2 弹簧支撑第36-38页
        4.3.3 刚性支撑第38-39页
    4.4 多空气气体静压导轨副实验分析第39-42页
    4.5 对比分析第42-43页
    4.6 本章小结第43-44页
5 二维运动平台的研制与测试实验第44-57页
    5.1 二维运动平台研究现状第44页
    5.2 二维运动平台整体结构第44-45页
    5.3 导轨副的设计与分析第45-48页
        5.3.1 导轨副的设计原则第45-46页
        5.3.2 直线导轨副的结构设计第46-48页
        5.3.3 导轨的材料第48页
    5.4 多孔质气体静压导轨副装配工艺过程第48-49页
    5.5 主要部件分析第49-50页
        5.5.1 横梁变形分析第49-50页
        5.5.2 平台基体变形分析第50页
    5.6 数控技术方案第50-53页
    5.7 二维运动平台精度检测第53-55页
    5.8 误差分析第55-56页
    5.9 本章小结第56-57页
6 结论与展望第57-59页
    6.1 结论第57页
    6.2 展望第57-59页
参考文献第59-61页
附录:硕士研究生学习阶段发表论文和取得的成果第61-62页
致谢第62页

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