基于聚合物的级联双环谐振腔波导传感器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 简缩字表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 波导型生化传感器原理 | 第12-13页 |
| 1.3 光波导生化传感器的主要结构 | 第13-17页 |
| 1.4 本论文主要内容及创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 光波导基本理论 | 第18-26页 |
| 2.1 平板光波导分析方法 | 第18-19页 |
| 2.2 矩形波导分析理论 | 第19-23页 |
| 2.2.1 马卡梯里方法 | 第20-21页 |
| 2.2.2 有效折射率法 | 第21-23页 |
| 2.3 矩形波导的设计 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 环形谐振腔传感器的理论基础 | 第26-44页 |
| 3.1 环形谐振腔的基本结构和主要特征参数 | 第26-29页 |
| 3.1.1 基本结构 | 第26-27页 |
| 3.1.2 环形谐振腔的主要特征参数 | 第27-29页 |
| 3.2 环形腔耦合部分——TMI | 第29-31页 |
| 3.2.1 TMI原理 | 第29-31页 |
| 3.2.2 TMI设计 | 第31页 |
| 3.3 弯曲损耗的计算 | 第31-34页 |
| 3.4 环形谐振腔传感器的传感原理分析 | 第34-35页 |
| 3.5 基于聚合物的级联双环谐振腔传感器 | 第35-40页 |
| 3.5.1 级联双环谐振腔波导传感器的结构 | 第35-36页 |
| 3.5.2 级联双环谐振腔传感器输出谱分析 | 第36-38页 |
| 3.5.3 级联双环谐振腔提升灵敏度原理 | 第38-39页 |
| 3.5.4 级联双环谐振腔传感器的折射率探测范围 | 第39-40页 |
| 3.6 级联双环谐振腔传感器的设计 | 第40-43页 |
| 3.7 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 级联双环谐振腔传感器的工艺制作 | 第44-52页 |
| 4.1 工艺制作流程 | 第44-45页 |
| 4.2 光刻掩膜版的设计 | 第45-46页 |
| 4.3 器件的主要制作工艺 | 第46-51页 |
| 4.3.1 波导芯层的制作 | 第46-47页 |
| 4.3.2 级联双环谐振腔的图案形成 | 第47-49页 |
| 4.3.3 BCB的刻蚀及上包层的制作 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 级联双环谐振腔的谐振性能测试 | 第52-60页 |
| 5.1 通光测试 | 第52-53页 |
| 5.2 器件谐振特性的测试 | 第53-57页 |
| 5.3 折射率匹配液传感性能测试 | 第57-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-61页 |
| 6.1 总结 | 第60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
