| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 ZnO的基本性质 | 第11-13页 |
| 1.3 p型ZnO材料的研究进展 | 第13-22页 |
| 1.3.1 ZnO材料p型掺杂及器件的研究进展 | 第13-20页 |
| 1.3.2 N掺杂ZnO的p型稳定性的研究进展 | 第20-22页 |
| 1.4 论文的选题依据及研究内容 | 第22-24页 |
| 2 ZnO薄膜的制备及表征方法 | 第24-38页 |
| 2.0 引言 | 第24页 |
| 2.1 ZnO薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 2.1.1 射频磁控溅射原理 | 第24-26页 |
| 2.1.2 样品制备流程 | 第26页 |
| 2.2 离子注入及退火 | 第26-29页 |
| 2.2.1 离子注入技术 | 第26-28页 |
| 2.2.2 退火(热处理) | 第28-29页 |
| 2.4 样品的分析和表征手段 | 第29-38页 |
| 2.4.1 X射线衍射 | 第29-30页 |
| 2.4.2 霍尔测试 | 第30-32页 |
| 2.4.3 双光束紫外-可见光分度计 | 第32-33页 |
| 2.4.4 X射线光电子能谱 | 第33-35页 |
| 2.4.5 二次离子质谱 | 第35-36页 |
| 2.4.6 拉曼光谱 | 第36-37页 |
| 2.4.7 光致发光谱 | 第37页 |
| 2.4.8 超导量子干涉磁强计 | 第37-38页 |
| 3 Mg、Cd掺杂ZnO薄膜的制备及间隙锌缺陷的调控 | 第38-48页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 未掺杂和Mg、Cd掺杂ZnO薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 3.3 Zni缺陷的调控及对ZnO薄膜电学性质的影响 | 第39-46页 |
| 3.3.1 ZnO薄膜的结构及光学特性 | 第39-40页 |
| 3.3.2 ZnO薄膜的拉曼特性 | 第40-42页 |
| 3.3.3 ZnO薄膜的元素成分 | 第42-45页 |
| 3.3.5 ZnO薄膜的电学特性 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 4 N掺杂富锌ZnO薄膜p型导电的形成机制与稳定性研究 | 第48-58页 |
| 4.1 引言 | 第48-49页 |
| 4.2 N掺杂富锌ZnO薄膜的制备 | 第49页 |
| 4.3 N掺杂富锌ZnO薄膜p型导电的形成机制 | 第49-55页 |
| 4.3.1 ZnO:(Zn-N)薄膜的电学特性 | 第49-50页 |
| 4.3.2 ZnO:(Zn-N)薄膜的元素成分分析 | 第50-51页 |
| 4.3.3 ZnO:(Zn-N)薄膜的拉曼特性 | 第51-52页 |
| 4.3.4 N掺杂富锌ZnO薄膜p型导电的形成机制 | 第52-55页 |
| 4.4 N掺杂富锌ZnO薄膜p型导电的稳定性 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 5 Ag-N共掺ZnO薄膜p型导电机制、稳定性与室温铁磁性研究 | 第58-82页 |
| 5.1 引言 | 第58-59页 |
| 5.2 Ag-N共掺ZnO薄膜p型导电的形成机制与稳定性 | 第59-69页 |
| 5.2.1 Ag-N共掺ZnO薄膜的制备 | 第59-60页 |
| 5.2.2 Ag-N共掺ZnO薄膜p型导电的形成机制 | 第60-64页 |
| 5.2.3 Ag-N共掺ZnO薄膜p型导电的稳定性 | 第64-69页 |
| 5.3 Ag-N共掺ZnO薄膜的室温铁磁性 | 第69-79页 |
| 5.3.1 理论计算和ZnO:(Ag, N)薄膜的制备 | 第69页 |
| 5.3.2 Ag-N共掺ZnO体系磁性的理论预测 | 第69-75页 |
| 5.3.3 氧空位调控Ag-N共掺ZnO薄膜的室温铁磁性 | 第75-79页 |
| 5.4 本章小结 | 第79-82页 |
| 6 C-N共掺ZnO薄膜p型导电的形成机制与稳定性研究 | 第82-96页 |
| 6.1 引言 | 第82页 |
| 6.2 N在离子注入ZnO中的行为及消除间隙N的方案设计 | 第82-88页 |
| 6.2.1 理论计算参数 | 第82页 |
| 6.2.2 N在离子注入ZnO中的行为 | 第82-84页 |
| 6.2.3 消除间隙N的理论方案设计 | 第84-88页 |
| 6.3 C-N共掺ZnO薄膜p型导电的形成机制与稳定性 | 第88-95页 |
| 6.3.1 C-N共掺ZnO薄膜的制备 | 第88-90页 |
| 6.3.2 C-N共掺ZnO薄膜p型导电的形成机制 | 第90-94页 |
| 6.3.3 C-N共掺ZnO薄膜p型导电的稳定性 | 第94-95页 |
| 6.4 本章小结 | 第95-96页 |
| 7 总结与展望 | 第96-100页 |
| 7.1 主要结论 | 第96-97页 |
| 7.2 创新点 | 第97页 |
| 7.3 展望 | 第97-100页 |
| 致谢 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-118页 |
| 附录 | 第118-120页 |
| A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第118-120页 |
| B. 作者在攻读学位期间参加的科研项目 | 第120页 |
