摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6页 |
第一章 绪论 | 第9-21页 |
1.1 无源无线MEMS开关控制方法 | 第9-12页 |
1.1.1 无源无线传感器概述 | 第9-10页 |
1.1.2 无源无线MEMS开关控制方法发展 | 第10-12页 |
1.2 无线能量传输技术 | 第12-16页 |
1.2.1 无线能量传输技术分类 | 第12-15页 |
1.2.2 电感耦合式无线供电系统的发展 | 第15-16页 |
1.3 MEMS开关 | 第16-19页 |
1.3.1 MEMS开关概述 | 第16-17页 |
1.3.2 MEMS开关的分类 | 第17-19页 |
1.4 论文的主要工作 | 第19-21页 |
1.4.1 论文组织框架结构 | 第20页 |
1.4.2 论文的核心创新点 | 第20-21页 |
第二章 电感耦合驱动无源无线单元的设计 | 第21-35页 |
2.1 电感耦合驱动无源无线单元概述 | 第21-24页 |
2.1.1 电感互感和自感的理论基础 | 第21-22页 |
2.1.2 电感耦合供电的理论基础 | 第22-24页 |
2.2 电感耦合驱动无源无线单元的电路设计 | 第24-34页 |
2.2.1 初级电路的设计 | 第25-28页 |
2.2.2 次级电路的设计 | 第28-34页 |
2.3 本章小结 | 第34-35页 |
第三章 静电驱动MEMS开关的设计 | 第35-53页 |
3.1 静电驱动MEMS开关概述及理论分析 | 第35-40页 |
3.1.1 静电驱动MEMS驱动器机械力学模型 | 第35-38页 |
3.1.2 横向静电叉指驱动MEMS开关模型 | 第38-40页 |
3.2 静电叉指驱动MEMS开关结构设计及仿真 | 第40-47页 |
3.2.1 静电驱动MEMS开关的设计 | 第40-44页 |
3.2.2 横向静电驱动MEMS开关仿真 | 第44-47页 |
3.2.3 横向静电驱动MEMS开关仿真结果分析 | 第47页 |
3.3 MEMS开关工艺介绍及版图设计 | 第47-52页 |
3.3.1 SOIMUMPs工艺介绍 | 第47-50页 |
3.3.2 横向静电驱动MEMS开关版图设计 | 第50-51页 |
3.3.3 横向静电驱动MEMS开关制作结果 | 第51-52页 |
3.4 本章小结 | 第52-53页 |
第四章 电感耦合驱动无源无线MEMS开关控制系统测试 | 第53-67页 |
4.1 静电驱动MEMS开关的测试 | 第53-56页 |
4.1.1 静电驱动MEMS开关的测试方案 | 第53-55页 |
4.1.2 静电驱动MEMS开关的测试结果及分析 | 第55-56页 |
4.2 电感耦合驱动无源无线单元电路的测试 | 第56-60页 |
4.2.1 电感耦合驱动无源无线单元电路的测试方案 | 第56-60页 |
4.2.2 电感耦合驱动无源无线单元电路的测试结果分析 | 第60页 |
4.3 电感耦合驱动的无源无线MEMS开关控制系统测试 | 第60-65页 |
4.4 本章小结 | 第65-67页 |
第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
5.1 总结 | 第67-68页 |
5.2 展望 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-73页 |
致谢 | 第73-75页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75页 |