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电感耦合驱动无源无线MEMS开关控制方法研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第一章 绪论第9-21页
    1.1 无源无线MEMS开关控制方法第9-12页
        1.1.1 无源无线传感器概述第9-10页
        1.1.2 无源无线MEMS开关控制方法发展第10-12页
    1.2 无线能量传输技术第12-16页
        1.2.1 无线能量传输技术分类第12-15页
        1.2.2 电感耦合式无线供电系统的发展第15-16页
    1.3 MEMS开关第16-19页
        1.3.1 MEMS开关概述第16-17页
        1.3.2 MEMS开关的分类第17-19页
    1.4 论文的主要工作第19-21页
        1.4.1 论文组织框架结构第20页
        1.4.2 论文的核心创新点第20-21页
第二章 电感耦合驱动无源无线单元的设计第21-35页
    2.1 电感耦合驱动无源无线单元概述第21-24页
        2.1.1 电感互感和自感的理论基础第21-22页
        2.1.2 电感耦合供电的理论基础第22-24页
    2.2 电感耦合驱动无源无线单元的电路设计第24-34页
        2.2.1 初级电路的设计第25-28页
        2.2.2 次级电路的设计第28-34页
    2.3 本章小结第34-35页
第三章 静电驱动MEMS开关的设计第35-53页
    3.1 静电驱动MEMS开关概述及理论分析第35-40页
        3.1.1 静电驱动MEMS驱动器机械力学模型第35-38页
        3.1.2 横向静电叉指驱动MEMS开关模型第38-40页
    3.2 静电叉指驱动MEMS开关结构设计及仿真第40-47页
        3.2.1 静电驱动MEMS开关的设计第40-44页
        3.2.2 横向静电驱动MEMS开关仿真第44-47页
        3.2.3 横向静电驱动MEMS开关仿真结果分析第47页
    3.3 MEMS开关工艺介绍及版图设计第47-52页
        3.3.1 SOIMUMPs工艺介绍第47-50页
        3.3.2 横向静电驱动MEMS开关版图设计第50-51页
        3.3.3 横向静电驱动MEMS开关制作结果第51-52页
    3.4 本章小结第52-53页
第四章 电感耦合驱动无源无线MEMS开关控制系统测试第53-67页
    4.1 静电驱动MEMS开关的测试第53-56页
        4.1.1 静电驱动MEMS开关的测试方案第53-55页
        4.1.2 静电驱动MEMS开关的测试结果及分析第55-56页
    4.2 电感耦合驱动无源无线单元电路的测试第56-60页
        4.2.1 电感耦合驱动无源无线单元电路的测试方案第56-60页
        4.2.2 电感耦合驱动无源无线单元电路的测试结果分析第60页
    4.3 电感耦合驱动的无源无线MEMS开关控制系统测试第60-65页
    4.4 本章小结第65-67页
第五章 总结与展望第67-69页
    5.1 总结第67-68页
    5.2 展望第68-69页
参考文献第69-73页
致谢第73-75页
攻读硕士学位期间发表的论文第75页

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