| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 光学干涉测量 | 第10页 |
| 1.2 相位测量 | 第10-11页 |
| 1.3 相移器种类的介绍 | 第11-15页 |
| 1.4 提高PZT相移精度的方法 | 第15-18页 |
| 1.5 本文的工作重点及创新点 | 第18-20页 |
| 第二章 PZT特性及测试系统 | 第20-37页 |
| 2.1 压电陶瓷 | 第20-24页 |
| 2.1.1 压电效应与电致伸缩效应 | 第20页 |
| 2.1.2 正压电效应与逆压电效应 | 第20-22页 |
| 2.1.3 压电陶瓷微位移器 | 第22-23页 |
| 2.1.4 压电陶瓷的发展及应用 | 第23-24页 |
| 2.2 压电陶瓷的特性及分析 | 第24-28页 |
| 2.3 PZT特性测试系统 | 第28-32页 |
| 2.3.1 虚拟仪器简介 | 第28页 |
| 2.3.2 PCI-1200 DAQ卡技术指标 | 第28-29页 |
| 2.3.3 PZT相移器的设计 | 第29-30页 |
| 2.3.4 PZT相移器的驱动 | 第30-31页 |
| 2.3.5 数据的采集 | 第31-32页 |
| 2.4 PZT特性测试原理 | 第32-33页 |
| 2.5 实验研究 | 第33-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 PZT测试实验及数据分析 | 第37-45页 |
| 3.1 实验数据的采集 | 第37页 |
| 3.2 实验数据处理及分析 | 第37-43页 |
| 3.2.1 PZT相移器迟滞特性研究及线性分析 | 第39页 |
| 3.2.2 PZT相移器重复性测试 | 第39-41页 |
| 3.2.3 PZT相移器在不同隔驱动参数下的特性研究 | 第41-43页 |
| 3.3 小结 | 第43-45页 |
| 第四章 总结及展望 | 第45-47页 |
| 谢辞 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 附录 A | 第53页 |