神光Ⅲ聚苯乙烯靶球微孔紫外激光加工技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 紫外激光加工在聚合物方面的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 激光核聚变靶球微孔加工技术的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.3 国内外研究现状综述 | 第15-16页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 紫外激光与聚合物材料的相互作用 | 第17-34页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 紫外激光对聚合物材料的蚀除机理 | 第17-22页 |
| 2.2.1 光化学蚀除机理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 光热蚀除机理 | 第19-21页 |
| 2.2.3 光热-光化学蚀除机理 | 第21-22页 |
| 2.3 紫外激光与神光Ш聚苯乙烯靶的相互作用 | 第22-33页 |
| 2.3.1 聚苯乙烯材料的结构与性能 | 第22-23页 |
| 2.3.2 聚苯乙烯对紫外激光的吸收机理 | 第23-25页 |
| 2.3.3 紫外激光与聚苯乙烯相互作用的物理模型 | 第25-28页 |
| 2.3.4 聚苯乙烯蚀除前后的 XPS 谱分析 | 第28-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 靶球微孔激光加工系统的研制 | 第34-47页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 靶球微孔激光加工系统整体技术方案 | 第34-35页 |
| 3.3 靶球微孔激光加工硬件系统的研制 | 第35-38页 |
| 3.3.1 系统平台 | 第35-37页 |
| 3.3.2 激光光路设计 | 第37-38页 |
| 3.4 靶球微孔激光加工软件系统的开发 | 第38-42页 |
| 3.4.1 轴坐标实时显示模块 | 第39页 |
| 3.4.2 串口通信模块 | 第39-40页 |
| 3.4.3 轴运动控制模块 | 第40页 |
| 3.4.4 自动聚焦模块 | 第40-42页 |
| 3.5 自动聚焦功能的验证 | 第42-46页 |
| 3.5.1 自动聚焦系统的重复精度验证 | 第42-44页 |
| 3.5.2 自动聚焦系统的精度验证 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 靶球微孔紫外激光加工工艺实验研究 | 第47-69页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 靶球微孔紫外激光加工实验方案 | 第47-49页 |
| 4.3 聚苯乙烯板材微孔紫外激光加工实验研究 | 第49-56页 |
| 4.3.1 激光参数对微孔直径的影响 | 第49-52页 |
| 4.3.2 激光参数对微孔孔深的影响 | 第52-56页 |
| 4.4 聚苯乙烯靶球微孔紫外激光加工实验研究 | 第56-60页 |
| 4.4.1 靶球微孔紫外激光加工正交实验研究 | 第56-58页 |
| 4.4.2 靶球微孔尺寸多元线性回归分析 | 第58-60页 |
| 4.5 靶球微孔紫外激光加工工艺参数优化 | 第60-68页 |
| 4.5.1 靶球微孔紫外激光加工一次响应曲面模型 | 第62-65页 |
| 4.5.2 靶球微孔紫外激光加工二次响应曲面模型 | 第65-68页 |
| 4.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
