| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 微混合器概述 | 第13-17页 |
| 1.2.1 微混合器分类 | 第13页 |
| 1.2.2 微混合器的国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 基于PMMA材料的微混合器封装技术 | 第17-19页 |
| 1.4 压电微泵概述 | 第19-20页 |
| 1.4.1 压电驱动技术 | 第19页 |
| 1.4.2 压电微泵的国内外研究现状 | 第19-20页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 微流体混合的基本原理 | 第22-28页 |
| 2.1 微尺度基本理论 | 第22-23页 |
| 2.2 微流体力学的基本概念 | 第23-26页 |
| 2.2.1 微流体的相关无量纲参数 | 第23-25页 |
| 2.2.2 微通道的基本方程 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 一种基于PMMA材料的热压键合工艺的实验研究 | 第28-40页 |
| 3.1 三维微混合器建模与流道分层处理 | 第28-30页 |
| 3.1.1 三维流道的建模 | 第28-29页 |
| 3.1.2 微混合器片层化处理 | 第29-30页 |
| 3.2 CNC编程加工与表面处理 | 第30-31页 |
| 3.2.1 CNC编程与加工 | 第30-31页 |
| 3.2.2 薄片表面处理 | 第31页 |
| 3.3 微混合器键合参数的研究 | 第31-38页 |
| 3.3.1 键合装置的设计 | 第31-33页 |
| 3.3.2 不同有机溶剂对PMMA材料的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.3 压力与有机溶剂对键合效果的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.4 压力、温度与有机溶剂对键合效果的影响 | 第35-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 压电微泵驱动的集成式微混合器设计与仿真优化 | 第40-64页 |
| 4.1 仿真模型的建立及参数设计 | 第40-41页 |
| 4.1.1 混合器几何模型的建立 | 第40页 |
| 4.1.2 仿真参数的设定 | 第40-41页 |
| 4.1.3 混合效果的判定标准 | 第41页 |
| 4.2 集成式微混合器被动部分的仿真分析与设计 | 第41-49页 |
| 4.2.1 探究平缓直流道对混合器的影响 | 第41-43页 |
| 4.2.2 探究拐角对混合效果的影响 | 第43-48页 |
| 4.2.3 被动微流道设计 | 第48-49页 |
| 4.3 微混合器驱动源部分的设计 | 第49-54页 |
| 4.3.1 压电微泵在混合中的脉动理论 | 第49-50页 |
| 4.3.2 压电微泵结构的选择 | 第50-51页 |
| 4.3.3 压电振子的选择 | 第51-52页 |
| 4.3.4 压电泵阀片的设计 | 第52-53页 |
| 4.3.5 双腔串联压电泵的腔体设计 | 第53-54页 |
| 4.4 集成式微混合器的仿真优化与设计 | 第54-62页 |
| 4.4.1 脉动混合模式的理论研究 | 第56-58页 |
| 4.4.2 基于脉动混合模式下的微混合器结构优化 | 第58-62页 |
| 4.4.3 混合器的整体结构优化 | 第62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 基于PMMA键合工艺的集成式微混合器制作及实验研究 | 第64-78页 |
| 5.1 集成式压电微混合器的制作 | 第64-66页 |
| 5.2 集成式压电微混合器的输出性能测试 | 第66-68页 |
| 5.3 集成式压电微混合器的混合性能测试 | 第68-77页 |
| 5.3.1 集成式压电微混合器的脉动实验 | 第68-72页 |
| 5.3.2 集成式压电微混合器混合效果实验测试 | 第72-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第6章 结论与展望 | 第78-82页 |
| 6.1 结论 | 第78-80页 |
| 6.2 问题与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-89页 |
| 作者简介 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
