| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 四自由度工作台的驱动与定位技术的研究现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 国外对四自由度工作台调整定位技术的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国内对四自由度工作台调整定位技术的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 四自由度调整中的调心调倾模型与坐标解耦 | 第14-32页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 密珠结构调心工作台偏心调整模型 | 第14-17页 |
| 2.2.1 调心坐标系与测量坐标系间的夹角标定方法 | 第15-16页 |
| 2.2.2 调心坐标系非正交情况下的坐标解耦 | 第16-17页 |
| 2.3 球面导向结构调倾工作台倾斜调整模型 | 第17-25页 |
| 2.3.1 倾斜调整的精确模型 | 第18-21页 |
| 2.3.2 倾斜调整模型分析 | 第21-23页 |
| 2.3.3 倾斜调整中的坐标解耦 | 第23-24页 |
| 2.3.4 调倾坐标系与测量坐标系间的夹角标定 | 第24-25页 |
| 2.4 调倾作用点到工作台中心距的标定方法 | 第25-27页 |
| 2.5 调倾坐标系非正交情况下的坐标解耦 | 第27-28页 |
| 2.6 球形导向面球心位置的标定方法 | 第28-31页 |
| 2.7 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 四自由度调整中的运动控制方法与系统设计 | 第32-45页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 基于数字逻辑变换的运动控制 | 第32-34页 |
| 3.2.1 基于数字逻辑变换的限位与回零控制方法 | 第32-33页 |
| 3.2.2 基于数字逻辑变换的限位与回零结构设计 | 第33-34页 |
| 3.3 手柄可控式三轴运动控制系统 | 第34-40页 |
| 3.3.1 三轴运动控制系统的工作原理 | 第35页 |
| 3.3.2 三轴运动控制板卡的功能分析 | 第35-36页 |
| 3.3.3 三轴运动控制板卡的设计 | 第36-38页 |
| 3.3.4 三轴运动控制板卡的仿真 | 第38-39页 |
| 3.3.5 三轴运动控制板卡的制作 | 第39-40页 |
| 3.4 四自由度调整中的基于光栅和编码器双反馈的控制方法 | 第40-44页 |
| 3.4.1 双反馈的运动控制方法 | 第40-42页 |
| 3.4.2 双反馈的运动控制结构 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 实验验证与结果分析 | 第45-63页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 四自由度调整中的回零稳定性测试 | 第45-46页 |
| 4.3 四自由度调整的相关标定实验 | 第46-51页 |
| 4.3.1 调心坐标系与测量坐标系间的夹角标定 | 第46-48页 |
| 4.3.2 调倾坐标系与测量坐标系间的夹角标定 | 第48-49页 |
| 4.3.3 调倾作用点到工作台中心距的标定 | 第49-50页 |
| 4.3.4 球形导向面球心高度的标定 | 第50-51页 |
| 4.4 四自由度调整中的位移线性度和回程误差测试 | 第51-58页 |
| 4.4.1 大步距（20μm）下线性度的测试 | 第52-53页 |
| 4.4.2 小步距（0.1μm）下线性度的测试 | 第53-56页 |
| 4.4.3 回程误差测试 | 第56-58页 |
| 4.5 四自由度调整中的调心调倾实验 | 第58-62页 |
| 4.5.1 偏心调整测量实验 | 第58-60页 |
| 4.5.2 倾斜调整测量实验 | 第60-61页 |
| 4.5.3 四自由度调整中的角漂移测试 | 第61-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
