| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第9-10页 |
| 1.2 常见的微波等离子体 | 第10-15页 |
| 1.2.1 电子回旋共振等离子体 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微波等离子体炬 | 第11-13页 |
| 1.2.3 表面波等离子体 | 第13-14页 |
| 1.2.4 圆柱谐振腔微波等离子体 | 第14-15页 |
| 1.3 低温等离子体的实验诊断方法 | 第15-23页 |
| 1.3.1 质谱法 | 第15-16页 |
| 1.3.2 激光诱导荧光光谱法 | 第16-17页 |
| 1.3.3 静电探针法 | 第17-19页 |
| 1.3.4 发射光谱法 | 第19-21页 |
| 1.3.5 吸收光谱法与光腔衰荡光谱 | 第21-23页 |
| 1.4 本论文的选题以及主要工作 | 第23-25页 |
| 2 实验装置 | 第25-32页 |
| 2.1 微波放电装置 | 第25-28页 |
| 2.1.1 微波产生及传输系统 | 第25-26页 |
| 2.1.2 微波放电腔室 | 第26-27页 |
| 2.1.3 抽气和配气系统 | 第27-28页 |
| 2.1.4 水冷系统 | 第28页 |
| 2.2 发射光谱诊断装置 | 第28-30页 |
| 2.3 TDLAS吸收光谱实验装置 | 第30-32页 |
| 3 发射光谱测定电子温度和氟原子相对数密度 | 第32-50页 |
| 3.1 电子温度的光谱诊断方法 | 第32-38页 |
| 3.1.1 波尔兹曼斜率法 | 第33-34页 |
| 3.1.2 费米-狄拉克分布模型 | 第34-35页 |
| 3.1.3 日冕模型 | 第35-38页 |
| 3.2 放电参数对Ar/CF_4等离子体状态的影响 | 第38-42页 |
| 3.2.1 放电功率对谱线强度、x值和电子温度的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.2 放电气压对谱线强度、x值和电子温度的影响 | 第39-41页 |
| 3.2.3 Ar配比对谱线强度、x值和电子温度的影响 | 第41-42页 |
| 3.3 内标法测定基态氟原子的相对数密度 | 第42-48页 |
| 3.3.1 内标法的基本原理 | 第43-45页 |
| 3.3.2 放电气压对氟原子相对数密度的影响 | 第45-47页 |
| 3.3.3 微波功率对氟原子相对数密度的影响 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 4 可调谐激光二极管吸收光谱技术对CF4/Ar微波等离子体的诊断 | 第50-58页 |
| 4.1 可调谐激光二极管吸收光谱技术诊断原理 | 第50-54页 |
| 4.1.1 亚稳态绝对数密度的计算方法 | 第50-53页 |
| 4.1.2 气体温度的计算方法 | 第53-54页 |
| 4.2 放电参数的影响 | 第54-57页 |
| 4.2.1 微波功率对氩亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第54-56页 |
| 4.2.2 放电气压对氩亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
