| 中文摘要 | 第4-6页 |
| 英文摘要 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 薄膜体声波谐振器 | 第10-12页 |
| 1.2 基于FBAR器件的液体传感器 | 第12-13页 |
| 1.3 拥有温度补偿结构的FBAR液体传感器 | 第13-15页 |
| 1.4 非线性碰撞与次谐波 | 第15页 |
| 1.5 论文的内容安排 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-23页 |
| 第二章 薄膜体声波谐振器研究的相关理论 | 第23-34页 |
| 2.1 声波在固体中的传播 | 第23-25页 |
| 2.2 Mason模型 | 第25-27页 |
| 2.3 传输矩阵方法 | 第27-31页 |
| 2.4 修正的Butterworth-Van Dyke模型的简介 | 第31-32页 |
| 2.5 小结 | 第32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 HBAR液体传感器的优化与声波能量调控 | 第34-47页 |
| 3.1 研究背景 | 第34-35页 |
| 3.2 整合了微流腔的多层HBAR结构的设计 | 第35-38页 |
| 3.3 数值模拟 | 第38-41页 |
| 3.4 计算结果与讨论 | 第41-44页 |
| 3.5 小结 | 第44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 第四章 声波液体传感器的温度补偿与声波能量调控 | 第47-61页 |
| 4.1 研究背景 | 第47-49页 |
| 4.2 获得温度补偿的声波液体传感器结构的设计 | 第49-52页 |
| 4.3 数值模拟 | 第52-55页 |
| 4.4 计算结果与讨论 | 第55-58页 |
| 4.5 小结 | 第58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 第五章 基于非线性碰撞结构的声波能量控制和次谐波现象的研究 | 第61-81页 |
| 5.1 研究背景 | 第61-62页 |
| 5.2 理论结构模型 | 第62-64页 |
| 5.3 仿真模拟结构模型 | 第64-66页 |
| 5.4 有限元仿真分析与结果 | 第66-71页 |
| 5.4.1 模拟工具 | 第66页 |
| 5.4.2 双层薄膜耦合结构的声场分布 | 第66-68页 |
| 5.4.3 单层耦合薄膜结构的声场分布 | 第68-71页 |
| 5.5 次谐波分频现象的调控与机理分析 | 第71-78页 |
| 5.5.1 分频结构模型的建立 | 第71页 |
| 5.5.2 双层耦合膜结构的分频随金属块密度变化规律 | 第71-78页 |
| 5.6 小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第84-85页 |
