| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第8-12页 |
| 1 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第12-18页 |
| 1.1.1 纳米科技 | 第12-13页 |
| 1.1.2 压电陶瓷纳米驱动器 | 第13-16页 |
| 1.1.3 压电陶瓷驱动器的基本特性 | 第16-18页 |
| 1.2 研究现状 | 第18-23页 |
| 1.2.1 压电陶瓷纳米驱动定位系统的研究 | 第18-19页 |
| 1.2.2 压电陶瓷磁滞补偿的主要方法 | 第19-20页 |
| 1.2.3 基于磁滞模型的逆模型补偿控制器 | 第20-23页 |
| 1.3 研究内容和章节安排 | 第23-28页 |
| 1.3.1 控制器设计 | 第23-25页 |
| 1.3.2 实验平台 | 第25-26页 |
| 1.3.3 章节安排 | 第26-28页 |
| 2 基于Prandtl-Ishlinkii模型的闭环控制器设计 | 第28-42页 |
| 2.1 Prandtl-Ishlinkii模型 | 第28-31页 |
| 2.1.1 Prandtl-Ishlinkii算子 | 第28-29页 |
| 2.1.2 Prandtl-Ishlinkii模型 | 第29-31页 |
| 2.2 改进的Prandtl-Ishlinkii模型 | 第31-36页 |
| 2.2.1 磁滞的不对称性 | 第31-33页 |
| 2.2.2 磁滞上升曲线的误差补偿 | 第33-36页 |
| 2.3 Prandtl-Ishlinkii模型的逆模型 | 第36-39页 |
| 2.3.1 逆模型补偿器 | 第36页 |
| 2.3.2 Prandtl-Ishlinkii逆模型 | 第36-39页 |
| 2.4 基于Prandtl-Ishlinkii模型的闭环反馈控制器设计 | 第39-40页 |
| 2.4.1 实验结果 | 第39-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 3 基于L_1自适应技术的磁滞补偿控制器设计 | 第42-56页 |
| 3.1 状态空间表达式 | 第42-44页 |
| 3.1.1 压电驱动系统的状态空间表达式 | 第42-43页 |
| 3.1.2 磁滞的转换 | 第43-44页 |
| 3.2 L_1自适应控制器 | 第44-50页 |
| 3.2.1 L_1自适应控制器的结构 | 第44-45页 |
| 3.2.2 稳定性分析 | 第45-50页 |
| 3.3 一维低速纳米驱动控制器设计 | 第50-53页 |
| 3.3.1 实验设备 | 第50-51页 |
| 3.3.2 控制器参数设计 | 第51页 |
| 3.3.3 实验结果 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-56页 |
| 4 基于Prandtl-Ishlinkii模型的L_1自适应控制器设计 | 第56-68页 |
| 4.1 问题描述 | 第56-59页 |
| 4.1.1 逆模型补偿 | 第57-58页 |
| 4.1.2 磁滞转换的对比 | 第58-59页 |
| 4.2 基于模型的L_1自适应控制系统 | 第59-62页 |
| 4.2.1 基于磁滞模型的L_1自适应控制系统 | 第59-60页 |
| 4.2.2 稳定性分析 | 第60-61页 |
| 4.2.3 稳态误差分析 | 第61-62页 |
| 4.3 实验结果 | 第62-67页 |
| 4.3.1 线性化结果 | 第62-65页 |
| 4.3.2 控制器参数设计 | 第65页 |
| 4.3.3 实验结果对比 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-76页 |
| 5.1 主要工作总结 | 第68-69页 |
| 5.2 展望 | 第69-76页 |
| 5.2.1 一维高速实验平台的搭建 | 第69-70页 |
| 5.2.2 二维纳米驱动平台的应用 | 第70-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录：作者硕士的期间科研成果 | 第80页 |
