| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第20-36页 |
| 1.1 研究背景 | 第20-21页 |
| 1.2 微透镜的主要应用及其制作方法 | 第21-30页 |
| 1.2.1 微透镜的主要应用 | 第21-23页 |
| 1.2.2 微透镜的制作方法 | 第23-30页 |
| 1.3 数字无掩膜光刻技术 | 第30-34页 |
| 1.3.1 空间光调制器介绍 | 第31页 |
| 1.3.2 基于DMD无掩膜光刻技术的研究进展 | 第31-34页 |
| 1.4 本文研究内容与章节安排 | 第34-36页 |
| 第2章 基于DMD无掩膜光刻系统设计及搭建安装 | 第36-70页 |
| 2.1 引言 | 第36页 |
| 2.2 DMD芯片简介 | 第36-39页 |
| 2.2.1 DMD的基本结构 | 第36-38页 |
| 2.2.2 DMD的工作原理 | 第38页 |
| 2.2.3 DMD的工作特点及特性 | 第38-39页 |
| 2.2.4 DMD的主要应用 | 第39页 |
| 2.3 基于DMD投影曝光成像理论 | 第39-45页 |
| 2.3.1 部分相干成像理论 | 第39-42页 |
| 2.3.2 DMD投影曝光成像模型 | 第42-45页 |
| 2.4 DMD无掩膜光刻系统设计 | 第45-65页 |
| 2.4.1 照明系统 | 第46-57页 |
| 2.4.2 DMD控制系统 | 第57-61页 |
| 2.4.3 投影成像系统 | 第61-64页 |
| 2.4.4 CCD调焦控制系统 | 第64-65页 |
| 2.5 系统安装调试及测试 | 第65-68页 |
| 2.5.1 系统安装调试 | 第65-67页 |
| 2.5.2 系统测试 | 第67-68页 |
| 2.6 本章内容小结 | 第68-70页 |
| 第3章 基于DMD无掩膜光刻的三维光调控技术的研究 | 第70-90页 |
| 3.1 引言 | 第70页 |
| 3.2 三维光调控理论研究 | 第70-74页 |
| 3.2.1 基于DMD无掩膜光刻的单次扫描方法 | 第70-71页 |
| 3.2.2 空间曝光剂量分布的研究 | 第71-72页 |
| 3.2.3 三维切片算法的研究及优化 | 第72-74页 |
| 3.3 非球面微透镜制作的实验研究 | 第74-81页 |
| 3.3.1 实验工艺参数 | 第74-77页 |
| 3.3.2 基于Poor Man's DRM的实验方法 | 第77-78页 |
| 3.3.3 曝光剂量分布 | 第78-79页 |
| 3.3.4 不同切片算法的实验结果对比及分析 | 第79-81页 |
| 3.4 提高非球面微透镜质量的研究 | 第81-87页 |
| 3.4.1 研究方法及工艺 | 第82-83页 |
| 3.4.2 表面热回流技术理论研究 | 第83-85页 |
| 3.4.3 实验结果分析和讨论 | 第85-87页 |
| 3.5 本章内容小结 | 第87-90页 |
| 第4章 多参数调制微透镜快速成型方法的研究 | 第90-102页 |
| 4.1 引言 | 第90-92页 |
| 4.2 成型方法及工艺 | 第92-94页 |
| 4.2.1 加工工艺介绍 | 第92-93页 |
| 4.2.2 相关研究理论 | 第93-94页 |
| 4.3 实验工艺参数介绍 | 第94-95页 |
| 4.3.1 光刻胶溶液浓度 | 第94页 |
| 4.3.2 孔径大小 | 第94-95页 |
| 4.3.3 旋涂速度 | 第95页 |
| 4.3.4 软烘温度 | 第95页 |
| 4.4 实验结果分析与讨论 | 第95-101页 |
| 4.5 本章内容小结 | 第101-102页 |
| 第5章 柔性制作仿生复眼透镜结构的研究 | 第102-122页 |
| 5.1 引言 | 第102-105页 |
| 5.2 仿生复眼透镜的研究方法及工艺 | 第105-108页 |
| 5.2.1 加工工艺介绍 | 第105-106页 |
| 5.2.2 边缘凸起现象研究 | 第106-108页 |
| 5.3 仿生复眼透镜结构的实验制作 | 第108-113页 |
| 5.3.1 光刻胶选择 | 第108-109页 |
| 5.3.2 涂胶方式的研究 | 第109页 |
| 5.3.3 仿生复眼透镜尺寸的确定 | 第109-110页 |
| 5.3.4 曝光过程及热回流参数的控制 | 第110-111页 |
| 5.3.5 PDMS软模制作及图形转印技术 | 第111-112页 |
| 5.3.6 仿生复眼透镜结构的制作 | 第112-113页 |
| 5.4 仿生复眼透镜表面形貌及光学特性测量 | 第113-120页 |
| 5.4.1 微透镜表面形貌测量方法概述 | 第113-115页 |
| 5.4.2 仿生复眼透镜表面形貌测量 | 第115-117页 |
| 5.4.3 光学测量系统搭建 | 第117-118页 |
| 5.4.4 焦距和点扩散函数测量 | 第118-119页 |
| 5.4.5 成像测量 | 第119-120页 |
| 5.5 本章内容小结 | 第120-122页 |
| 第6章 总结与展望 | 第122-126页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第122-123页 |
| 6.2 本文的创新点 | 第123-124页 |
| 6.3 工作展望 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-138页 |
| 致谢 | 第138-140页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第140页 |