| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·微坑阵列及其应用 | 第10页 |
| ·微坑阵列加工技术 | 第10-21页 |
| ·振动加工 | 第11-12页 |
| ·激光加工 | 第12-14页 |
| ·电火花加工 | 第14-15页 |
| ·磨料气射流加工 | 第15页 |
| ·传统机械加工 | 第15-16页 |
| ·电解加工 | 第16-21页 |
| ·本文研究意义 | 第21-22页 |
| ·主要研究内容与创新点 | 第22-24页 |
| ·本文主要研究内容 | 第22页 |
| ·本文主要创新点 | 第22-24页 |
| 2 掩膜电解加工微坑阵列基础理论 | 第24-32页 |
| ·电解加工原理 | 第24页 |
| ·电解加工特点 | 第24-25页 |
| ·电解加工理论 | 第25-27页 |
| ·法拉第定律 | 第25-26页 |
| ·加工间隙电场特性 | 第26-27页 |
| ·极间间隙填充型掩膜电解加工技术 | 第27-30页 |
| ·极间间隙填充型掩膜电解加工原理 | 第27-30页 |
| ·极间间隙填充型掩膜电解加工影响因素分析 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 3 极间间隙填充型直流掩膜电解加工微坑阵列实验研究 | 第32-56页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·实验装置研制 | 第32-36页 |
| ·阴-阳极夹具 | 第33-35页 |
| ·电解液循环系统 | 第35-36页 |
| ·电源 | 第36页 |
| ·工艺参数对微坑加工效率的影响研究 | 第36-47页 |
| ·电压 | 第37-39页 |
| ·掩膜孔深径比 | 第39-42页 |
| ·原始加工间隙 | 第42-44页 |
| ·压紧力 | 第44-47页 |
| ·三因素对比分析 | 第47页 |
| ·微坑阵列质量分析 | 第47-54页 |
| ·微坑分布均匀性 | 第47-52页 |
| ·微坑典型廓形与形貌 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 4 极间间隙填充型脉冲掩膜电解加工微坑阵列实验研究 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·工艺参数对微坑加工效率的影响研究 | 第56-59页 |
| ·脉冲周期 | 第57-58页 |
| ·脉冲占空比 | 第58-59页 |
| ·微坑阵列质量分析 | 第59-64页 |
| ·微坑分布均匀性 | 第60-62页 |
| ·微坑典型廓形与形貌 | 第62-64页 |
| ·微坑侧向腐蚀率 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-70页 |
| ·总结 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 作者简历 | 第76-78页 |
| 学位论文数据集 | 第78页 |