| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·微角步距电动机系统 | 第7-11页 |
| ·微位移电动机 | 第8-9页 |
| ·微位移检测系统 | 第9-10页 |
| ·微位移控制系统 | 第10-11页 |
| ·国内外压电微动系统的发展研究 | 第11-16页 |
| ·压电微位移电动机的国内外发展 | 第11-15页 |
| ·国内外微位移控制系统的研究 | 第15-16页 |
| ·本课题的主要研究内容和意义 | 第16-18页 |
| 第二章 微角步距压电电动机的工作原理及结构设计 | 第18-30页 |
| ·压电元件及压电叠堆的特性 | 第18-21页 |
| ·压电材料及逆压电效应 | 第18-19页 |
| ·压电叠堆特性分析 | 第19-21页 |
| ·微角步距压电电动机的运动机理 | 第21-22页 |
| ·尺蠖原理 | 第21页 |
| ·微角步距压电电动机的驱动原理 | 第21-22页 |
| ·微角步距压电电动机的机械结构设计及柔性铰链分析 | 第22-28页 |
| ·微角步距压电电动机的机械组成单元设计分析 | 第23-26页 |
| ·机械结构中的柔性铰链分析 | 第26-28页 |
| ·电动机机械机构及运动数学模型分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基于 FPGA 的微角步距压电电动机的驱动系统设计 | 第30-44页 |
| ·FPGA 控制系统的开发平台及开发方法 | 第30-33页 |
| ·FPGA 的结构及设计开发流程 | 第30-32页 |
| ·硬件开发语言及开发环境 | 第32-33页 |
| ·驱动控制系统的硬件电路及接口设计 | 第33-37页 |
| ·FPGA 系统的硬件设计及程序控制 | 第33-34页 |
| ·三角波信号产生的电路设计分析 | 第34-35页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第35-37页 |
| ·系统的软件设计及信号仿真 | 第37-43页 |
| ·控制系统的模块化分及软件设计 | 第38-41页 |
| ·控制信号的仿真 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 微角步距压电电动机的角位移检测及闭环控制 | 第44-54页 |
| ·圆光栅检测系统测量原理及检测装置 | 第44-46页 |
| ·检测系统的电路设计和信号输出 | 第46-48页 |
| ·控制系统的闭环设计 | 第48-53页 |
| ·PID 控制原理 | 第48-50页 |
| ·基于 FPGA 的增量式 PID 控制 | 第50-51页 |
| ·采集信号分析及软件仿真设计 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 系统性能测试实验及结果分析 | 第54-66页 |
| ·实验系统装置及压电陶瓷测试 | 第54-56页 |
| ·压电陶瓷伸缩性测试及分析 | 第54-56页 |
| ·驱动控制信号波形及检测波形实验 | 第56-57页 |
| ·系统性能测试、数据处理及结果分析 | 第57-65页 |
| ·电动机系统输出角位移与频率变化关系实验 | 第58-60页 |
| ·电动机系统输出角位移与电压变化关系实验 | 第60-62页 |
| ·电动机最小、最大步距和重复性试验 | 第62-63页 |
| ·系统运动的线性拟合实验 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结及展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |