| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 1 绪论 | 第13-32页 |
| ·气体传感器 | 第14-22页 |
| ·气体传感器概述 | 第14-16页 |
| ·金属氧化物气体传感器 | 第16-17页 |
| ·金属氧化物气体传感器的敏感机制 | 第17-18页 |
| ·金属氧化物气体传感器的器件结构 | 第18-19页 |
| ·金属氧化物气体传感器存在的问题及发展趋势 | 第19-21页 |
| ·氧化锌气敏材料的研究现状 | 第21-22页 |
| ·湿度传感器 | 第22-30页 |
| ·湿度传感器概述 | 第22-24页 |
| ·湿度传感器研究进展 | 第24-26页 |
| ·湿度传感器敏感机制 | 第26-27页 |
| ·湿度传感器的器件结构 | 第27-28页 |
| ·湿度传感器存在的问题及发展趋势 | 第28-29页 |
| ·氧化锌湿敏材料的研究现状 | 第29-30页 |
| ·本论文选题依据与研究内容 | 第30-32页 |
| ·选题依据 | 第30-31页 |
| ·研究内容 | 第31-32页 |
| 2 ZnO 基传感器气敏特性研究 | 第32-60页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·多孔片层 ZnO 球气敏特性研究 | 第32-42页 |
| ·多孔片层 ZnO 球的制备与表征 | 第33-36页 |
| ·基于多孔片层 ZnO 球气体传感器的制备 | 第36-37页 |
| ·气敏性能测试结果与讨论 | 第37-42页 |
| ·Zn 掺杂 SnO_2多孔空心球气敏性能研究 | 第42-51页 |
| ·Zn 掺杂 SnO_2多孔空心球的制备与表征 | 第43-46页 |
| ·基于 Zn 掺杂 SnO_2多孔空心球的气体传感器的制备 | 第46页 |
| ·气敏性能测试结果与讨论 | 第46-51页 |
| ·Zn2SnO_4纳米颗粒气敏特性研究 | 第51-58页 |
| ·Zn2SnO_4纳米颗粒的制备与表征 | 第52-54页 |
| ·基于 Zn2SnO_4纳米颗粒气体传感器的制备 | 第54页 |
| ·气敏性能测试结果与讨论 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 3 ZnO 基传感器湿敏特性研究 | 第60-87页 |
| ·引言 | 第60-63页 |
| ·ZnO/Si-NPA 传感器湿敏特性研究 | 第63-74页 |
| ·ZnO/Si-NPA 湿敏材料的制备 | 第63-64页 |
| ·敏感材料的表征与结果分析 | 第64-66页 |
| ·湿敏元件的制备与测试 | 第66页 |
| ·湿敏性能测试结果与讨论 | 第66-70页 |
| ·湿敏元件感湿机理 | 第70-74页 |
| ·PVP 修饰 ZnO/Si-NPA 传感器湿敏特性研究 | 第74-85页 |
| ·PVP 修饰 ZnO 纳米颗粒的制备 | 第74-75页 |
| ·敏感材料的表征与结果分析 | 第75-78页 |
| ·敏感元件的制备与测试 | 第78页 |
| ·湿敏性能测试结果与讨论 | 第78-84页 |
| ·湿敏元件感湿机理 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 4 结论与展望 | 第87-90页 |
| 参考文献 | 第90-99页 |
| 攻读博士期间的成果 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100页 |