基于位相光栅的四波横向剪切干涉法波前检测技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 图表目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·夏克-哈特曼法波前检测技术 | 第10-11页 |
| ·点衍射法波前检测技术 | 第11-12页 |
| ·传统横向剪切法波前检测技术 | 第12-14页 |
| ·新的四波横向剪切干涉法波前检测技术 | 第14-15页 |
| ·波前检测研究现状小结 | 第15页 |
| ·课题来源和研究内容 | 第15-17页 |
| 2 四波横向剪切干涉术研究方案 | 第17-24页 |
| ·四波横向剪切干涉原理 | 第17-20页 |
| ·四波横向剪切干涉方案的光学系统结构 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 棋盘型位相光栅设计与研制 | 第24-44页 |
| ·一维矩形光栅衍射效率分析 | 第24-30页 |
| ·一维振幅光栅衍射效率 | 第26-27页 |
| ·一维位相光栅衍射效率分析 | 第27-30页 |
| ·二维矩形位相光栅衍射效率分析 | 第30-35页 |
| ·正交型位相光栅衍射效率分析 | 第30-34页 |
| ·棋盘型位相光栅衍射效率分析 | 第34-35页 |
| ·位相光栅误差分析 | 第35-41页 |
| ·棋盘型位相光栅样品检测 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 4 四波横向剪切干涉图波前重构 | 第44-55页 |
| ·FFT法差分波前解调 | 第45-47页 |
| ·差分Zernike法波前重构 | 第47-54页 |
| ·Zernike多项式简介 | 第47-48页 |
| ·差分Zernike法波前重构原理 | 第48-50页 |
| ·差分Zernike法波前重构仿真 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 四波横向剪切干涉法波前实验 | 第55-66页 |
| ·四波横向剪切干涉法波前检测实验 | 第55-62页 |
| ·四波横向剪切实验装置 | 第55-56页 |
| ·四波横向剪切干涉法实验结果 | 第56-58页 |
| ·剪切量标定 | 第58页 |
| ·剪切量标定误差对重构波前影响 | 第58-60页 |
| ·与SID-4波前传感器波前检测结果对比 | 第60-62页 |
| ·棋盘位相光栅的动态干涉仪分光应用 | 第62-65页 |
| ·动态干涉仪 | 第62-63页 |
| ·动态干涉仪实验结果 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·本文的主要工作和创新点 | 第66页 |
| ·展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 | 第73页 |
