| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·选题背景 | 第8-9页 |
| ·MEMS传感器的研究现状和发展趋势 | 第9-11页 |
| ·稳健设计研究现状和发展趋势 | 第11-13页 |
| ·课题来源、意义与主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 MEMS压阻式压力传感器理论基础与结构设计 | 第14-28页 |
| ·相关理论基础 | 第14-18页 |
| ·半导体压阻效应 | 第14-17页 |
| ·弹性膜片变形小挠度理论 | 第17-18页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器工作原理及特点 | 第18-20页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器工作原理 | 第18-19页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器电路结构 | 第19-20页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器特点 | 第20页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器结构设计和材料选择 | 第20-27页 |
| ·硅杯结构设计 | 第20-23页 |
| ·力敏电阻设计 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 MEMS压阻式压力传感器仿真分析 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器弹性薄膜应力分析 | 第28-35页 |
| ·弹性薄膜应力分析理论基础 | 第28-29页 |
| ·弹性薄膜应力的有限元分析 | 第29-31页 |
| ·改变参数对薄膜受力的影响 | 第31-33页 |
| ·传感器弹性薄膜应力输出线性度 | 第33-35页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器输出电压仿真 | 第35-37页 |
| ·仿真模型 | 第35-36页 |
| ·仿真步骤 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 基于田口方法的MEMS压阻式压力传感器稳健设计 | 第38-53页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·稳健设计的基本理论 | 第38-44页 |
| ·稳健设计基本原理 | 第38-42页 |
| ·稳健设计的分类 | 第42-44页 |
| ·稳健设计的一般步骤 | 第44页 |
| ·田口稳健设计 | 第44-46页 |
| ·田口稳健设计主要内容 | 第44-45页 |
| ·信噪比 | 第45页 |
| ·正交试验设计 | 第45-46页 |
| ·MEMS压阻式压力传感器田口稳健设计 | 第46-52页 |
| ·稳健设计思路 | 第46-47页 |
| ·因素水平确定 | 第47-48页 |
| ·交试验设计 | 第48-50页 |
| ·结果与分析 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 基于随机模型的MEMS压阻式压力传感器稳健设计 | 第53-63页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·随机模型基本的概念和稳健设计随机模型 | 第53-56页 |
| ·随机因素形式 | 第53页 |
| ·可控因素的随机性分析 | 第53-54页 |
| ·不可控因素的随机性分析 | 第54-55页 |
| ·稳健设计随机模型 | 第55-56页 |
| ·基于随机模型的MEMS压阻式压力传感器的稳健设计 | 第56-62页 |
| ·问题分析 | 第56页 |
| ·传感器方形膜应力推导 | 第56-58页 |
| ·基于随机模拟的稳健设计模型 | 第58-60页 |
| ·结果与分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论和展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
