声悬浮抛光表面完整性研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-8页
目录	第8-10页
第1章 绪论	第10-24页
·课题来源	第10页
·引言	第10-14页
·超光滑表面试样制备研究现状	第14-16页
·声悬浮研究背景	第16-18页
·表面完整性研究现状	第18-21页
·表面完整性概述	第18页
·表面完整性表征研究现状	第18-21页
·论文的研究内容	第21-24页
第2章 声悬浮抛光原理和装置	第24-34页
·声悬浮抛光原理	第24-29页
·声悬浮抛光装置	第29-33页
·声悬浮抛光设备	第29-32页
·声悬浮抛光机	第32-33页
·本章小结	第33-34页
第3章 声悬浮抛光表面残余应力仿真与测试	第34-58页
·有限元软件介绍	第34-36页
·ABAQUS简介	第34-35页
·ABAQUS的接触分析	第35-36页
·ABAQUS碰撞分析	第36页
·表面残余应力数值模拟	第36-53页
·建立模型	第36-37页
·模型单元选择	第37-38页
·定义参数	第38-41页
·单颗粒磨粒冲击工件计算结果	第41-44页
·多颗磨粒冲击工件计算结果	第44-53页
·表面残余应力测试	第53-55页
·测试设备	第53-55页
·表面残余应力测试	第55页
·本章小结	第55-58页
第4章 声悬浮抛光工件表面损伤研究	第58-72页
·试样制备	第58-62页
·试样制备设备	第58-59页
·测试设备	第59-62页
·试验制备过程	第62-64页
·机械化学抛光	第62-63页
·声悬浮抛光	第63-64页
·抛光液配置	第64-65页
·加工试样表征	第65-71页
·粗加工试样测试	第65页
·纳米压入试验表征	第65-68页
·扫描透射电镜表征	第68-71页
·本章小结	第71-72页
第5章 总结与展望	第72-74页
参考文献	第74-78页
致谢	第78-80页
攻读学位期间参加的科研项目和成果	第80页