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稀薄等离子体羽流的溅射效应研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·研究意义第12-14页
     ·霍尔推力器第12-13页
     ·在飞行器上应用霍尔推力器的潜在问题第13-14页
   ·国内外溅射研究现状第14-20页
     ·溅射概述第14-17页
     ·溅射的实验研究状况第17-19页
     ·溅射的计算机仿真模拟研究状况第19-20页
   ·本文的主要研究内容第20-22页
     ·本文的主要工作第20-21页
     ·本文的内容安排第21-22页
第二章 稀薄等离子体羽流模拟的 DSMC/PIC 方法第22-38页
   ·DSMC 方法第22-32页
     ·引言第22页
     ·DSMC 方法的产生及最新进展第22-23页
     ·DSMC 方法的基本思想和实现过程第23-32页
   ·PIC 方法第32-35页
     ·蛙跳算法第32-33页
     ·节点参数分配第33-34页
     ·等离子体粒子模拟的基本思路第34-35页
   ·DSMC/PIC 混合方法第35-37页
   ·本章小结第37-38页
第三章 溅射过程建模第38-44页
   ·溅射简介第38页
   ·MICHAEL J.BARLOW 溅射模型第38-39页
   ·YAMAMURA 溅射模型第39-41页
     ·离子法向入射的溅射率公式第39页
     ·溅射率对入射角度的依赖关系第39-40页
     ·被溅射出的物质分子的角度分布第40页
     ·低能近似第40-41页
   ·溅射模型本身的验证第41-43页
   ·本章小结第43-44页
第四章 等离子体羽流诊断系统及与二维仿真结果的对比第44-58页
   ·SPT-70 羽流特性诊断仪器和过程第44-46页
   ·SPT-70 等离子体羽流场的二维仿真模型第46-51页
     ·计算区域及边界条件第46-47页
     ·碰撞计算第47-49页
     ·节点参数计算第49-50页
     ·计算网格与时间步长第50页
     ·背压处理第50-51页
     ·计算参数第51页
   ·SPT-70 等离子体羽流场的二维仿真结果第51-54页
     ·实验舱内流场模拟第51-52页
     ·真空羽流场模拟第52-54页
   ·DSMC/PIC 混合方法计算二维流场结果的验证第54-57页
   ·本章小结第57-58页
第五章 三维等离子体羽流仿真及溅射效应分析第58-69页
   ·SPT-70 等离子体羽流场的三维仿真模型第58-59页
   ·SPT-70 等离子体羽流场的三维仿真结果的验证第59-61页
   ·SPT-70 等离子体羽流场的三维仿真结果分析第61-65页
   ·溅射计算结果及验证第65-67页
     ·溅射云图分析第65-67页
     ·溅射线图分析第67页
   ·本章小结第67-69页
第六章 等离子体羽流污染效应评估的可视化平台第69-75页
   ·可视化平台的整体框架第69-71页
     ·开发环境和使用的语言第69页
     ·平台的系统组成及功能模块第69-71页
   ·标量场的可视化第71-73页
   ·矢量场的可视化第73-74页
   ·本章小结第74-75页
第七章 主要结论与展望第75-77页
   ·主要结论第75页
   ·展望第75-77页
参考文献第77-79页
致谢第79-80页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文第80页

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