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离子束刻蚀HgCdTe环孔光电二极管及MIS器件研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-31页
   ·红外探测器及红外制导简介第9-13页
   ·红外探测器的分类第13-18页
     ·光子探测器第13-17页
     ·热探测器第17-18页
   ·红外探测器的性能参数第18-21页
     ·响应率第18-19页
     ·结电阻第19页
     ·量子效率第19-20页
     ·时间常数第20页
     ·噪声等效功率第20-21页
     ·探测率和比探测率第21页
   ·碲镉汞材料及红外探测器第21-28页
     ·碲镉汞材料生长简介第21-24页
     ·碲镉汞红外探测器简介第24-28页
     ·展望第28页
   ·本文的工作和意义第28-31页
第二章 离子束刻蚀碲镉汞环孔PN结I-V、R_D-V特性的研究第31-82页
   ·引言第31-33页
   ·光伏理论及I—V特性第33-41页
     ·碲镉汞环孔PN结I—V特性研究第41-81页
     ·材料生长和器件制备第41-43页
     ·实验结果分析第43-81页
     ·本章小结第81-82页
第三章 碲镉汞MIS器件的制备及其界面电学特性的研究第82-120页
   ·引言第82-98页
     ·表面感生电荷层第87-89页
     ·耗尽情形第89页
     ·反型情型第89-91页
     ·MIS电容第91-92页
     ·理想MIS结构的C-V特性第92-95页
     ·实际MIS结构的C—V特性第95-98页
   ·实验第98-100页
     ·MIS器件的制备第98-99页
     ·MIS器件的C-V特性测量第99-100页
   ·结果与讨论(界面电学特性研究)第100-118页
     ·MISC-V曲线的串联电阻修正第100-101页
     ·钝化层固定电荷密度N_F第101-103页
     ·MIS结构衬底杂质浓度分布第103-106页
     ·界面态密度的能量分布第106-117页
     ·慢界面态密度N_h第117-118页
   ·本章小结第118-120页
第四章 碲镉汞MIS器件界面化学结构的研究第120-138页
   ·引言第120-124页
     ·半导体表面研究方法第120-123页
     ·X射线光电子能谱基本原理第123-124页
   ·实验第124-125页
   ·结果分析与讨论第125-137页
   ·本章小结第137-138页
第五章 结论第138-140页
致谢第140-142页
附录A C-V法测量PN结杂质浓度分布的基本原理及应用第142-152页
附录B 硕士论文期间发表文章第152-153页
参考文献第153-155页

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