| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-32页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第14-16页 |
| ·激光直写技术国内外研究现状 | 第16-19页 |
| ·并行激光直写技术国内外研究现状 | 第19-30页 |
| ·逐个图形曝光的并行激光直写技术的研究现状 | 第19-25页 |
| ·多点曝光的并行激光直写技术的研究现状 | 第25-30页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第2章 基于连续深浮雕谐衍射透镜阵列的并行激光直写技术 | 第32-39页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·并行激光直写系统工作原理 | 第32-34页 |
| ·并行激光直写光学系统的关键单元技术 | 第34-37页 |
| ·写入光源 | 第34页 |
| ·空间光调制器 | 第34-35页 |
| ·投影滤波放大系统 | 第35页 |
| ·连续浮雕衍射透镜阵列 | 第35-37页 |
| ·离焦检测系统 | 第37页 |
| ·扫描方式 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 并行激光直写中微透镜阵列聚焦理论及设计方法研究 | 第39-59页 |
| ·引言 | 第39-40页 |
| ·并行激光直写中微透镜阵列衍射聚焦理论研究 | 第40-49页 |
| ·瑞利-索莫菲衍射积分理论的卷积模式快速算法 | 第40-43页 |
| ·微透镜阵列衍射聚焦模型 | 第43-45页 |
| ·数值模拟与分析 | 第45-48页 |
| ·结论 | 第48-49页 |
| ·并行激光直写中连续浮雕衍射透镜阵列设计方法研究 | 第49-56页 |
| ·连续浮雕衍射透镜设计理论基础 | 第49-53页 |
| ·连续浮雕衍射透镜阵列的设计 | 第53-56页 |
| ·连续浮雕衍射透镜阵列的制作 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 激光直写制作的小F/#连续浮雕衍射透镜的聚焦特性研究 | 第59-75页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·激光直写制作的衍射透镜的衍射聚焦模型 | 第60-67页 |
| ·深度制作误差和卷积效应 | 第60-64页 |
| ·制作的小F/#连续浮雕衍射透镜的衍射聚焦模型 | 第64-67页 |
| ·卷积效应对连续浮雕衍射透镜聚焦特性的影响 | 第67-70页 |
| ·对连续浮雕衍射透镜轴向光强分布特性的影响 | 第67-69页 |
| ·对连续浮雕衍射透镜横向聚焦特性的影响 | 第69-70页 |
| ·深度制作误差对连续浮雕衍射透镜聚焦特性的影响 | 第70-74页 |
| ·对连续浮雕衍射透镜轴向光强分布特性的影响 | 第70-71页 |
| ·对连续浮雕衍射透镜横向聚焦特性的影响 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 谐振检焦透镜阵列及聚焦理论研究 | 第75-86页 |
| ·引言 | 第75-76页 |
| ·谐衍射透镜的特性 | 第76-77页 |
| ·谐衍射透镜的谐振聚焦特性研究 | 第77-81页 |
| ·谐衍射透镜的谐振聚焦模型 | 第78页 |
| ·谐衍射透镜的轴向谐振光强分布特性分析 | 第78-80页 |
| ·谐衍射透镜的横向谐振聚焦特性分析 | 第80-81页 |
| ·检焦激光波长对衍射透镜的谐振聚焦特性影响 | 第81-85页 |
| ·不同波长检焦激光入射时衍射透镜谐振位相函数 | 第82页 |
| ·波长对衍射透镜的轴向谐振光强分布特性影响 | 第82-84页 |
| ·波长对衍射透镜的横向谐振聚焦特性影响 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第6章 实验及结果分析 | 第86-102页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·连续深浮雕谐衍射透镜的聚焦性能实验 | 第86-92页 |
| ·连续浮雕衍射透镜的聚焦性能测试实验系统 | 第86-89页 |
| ·图像数字处理和聚焦信息获取 | 第89-92页 |
| ·实验结果与分析 | 第92-99页 |
| ·轴向光强分布特性实验与分析 | 第92-95页 |
| ·横向聚焦特性实验与分析 | 第95-99页 |
| ·测试系统性能主要影响因素分析 | 第99-101页 |
| ·光源噪声的影响 | 第100页 |
| ·准直扩束系统 | 第100页 |
| ·CCD | 第100页 |
| ·采样间距 | 第100-101页 |
| ·外界环境影响 | 第101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 结论 | 第102-105页 |
| 参考文献 | 第105-117页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第117页 |
| 攻读博士期间申请的发明专利 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 个人简历 | 第120页 |
