平面线圈式石英挠性加速度计的前期研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·常见加速度计介绍 | 第10-12页 |
| ·石英挠性加速度计的工作原理及优点 | 第12-13页 |
| ·石英挠性加速度计的工作原理 | 第12-13页 |
| ·石英挠性加速度计的优点 | 第13页 |
| ·石英挠性加速度计的国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究目标、内容、意义及创新点 | 第14-17页 |
| ·本课题的研究目标 | 第14页 |
| ·本课题的研究内容 | 第14-15页 |
| ·本课题的研究意义 | 第15-16页 |
| ·本课题的创新点 | 第16-17页 |
| 2. 平面线圈式石英挠性加速度计总体设计 | 第17-25页 |
| ·传统石英挠性加速度计工作原理 | 第17页 |
| ·传统石英挠性加速度计自身设计的不足 | 第17-18页 |
| ·平面线圈式石英挠性加速度计工作原理 | 第18-19页 |
| ·通电线圈磁场支承装置设计原理 | 第19-22页 |
| ·电容位移传感装置检测原理 | 第22-23页 |
| ·总体设计 | 第23-25页 |
| ·结构部分 | 第23-24页 |
| ·电路部分 | 第24-25页 |
| 3. 平面线圈式石英挠性加速度计的结构设计 | 第25-49页 |
| ·敏感质量摆片的挠性支承设计及制作 | 第25-34页 |
| ·挠性梁的动力学特性及分析设计 | 第25-27页 |
| ·挠性梁的参数确定 | 第27-28页 |
| ·挠性梁的有限元模型建立与仿真 | 第28-31页 |
| ·挠性梁的加工工艺 | 第31-34页 |
| ·平面螺旋线圈印制工艺设计及制作 | 第34-42页 |
| ·真空镀膜工艺 | 第34-37页 |
| ·光刻工艺 | 第37-39页 |
| ·平面螺旋线圈制作的光刻工艺参数 | 第39-41页 |
| ·平面螺旋线圈制作的双面光刻对准工艺 | 第41-42页 |
| ·磁极的加工工艺设计及制作 | 第42-44页 |
| ·载流铜带的制作工艺 | 第42-43页 |
| ·磁极的制作工艺 | 第43-44页 |
| ·磁芯的加工工艺设计及制作 | 第44-49页 |
| ·磁芯材料的选择 | 第44-46页 |
| ·磁芯的加工工艺设计 | 第46-47页 |
| ·磁芯特性 | 第47-49页 |
| 4. 平面线圈式石英挠性加速度计的伺服电路设计 | 第49-59页 |
| ·伺服电路原理设计 | 第49-52页 |
| ·电容检测电路 | 第50-51页 |
| ·反馈电路 | 第51页 |
| ·电容检测电路的数学模型 | 第51-52页 |
| ·集成模拟伺服电路 | 第52-55页 |
| ·电路设计 | 第52-53页 |
| ·电路测试 | 第53-55页 |
| ·分立元件模拟伺服电路 | 第55-59页 |
| ·电路设计 | 第55-56页 |
| ·电路测试 | 第56-59页 |
| 5. 系统总装与测试 | 第59-73页 |
| ·系统总装 | 第59页 |
| ·结构连接 | 第59页 |
| ·导线连接 | 第59页 |
| ·系统测试 | 第59-73页 |
| ·磁钢方案加速度计测试 | 第60-66页 |
| ·通电线圈方案加速度计测试 | 第66-73页 |
| 6. 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·研究总结 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
