金刚石薄膜N型掺杂的气相动力学过程研究

第1章 引言	第1-10页
第2章 Monte Carlo方法简介	第10-13页
·蒙特卡罗方法概述	第10页
·蒙特卡罗方法解题的一般手续	第10-12页
·构造或描述概率过程	第10-11页
·实现从已知概率分布抽样	第11页
·建立各种估计量:	第11-12页
·蒙特卡罗方法的特点	第12-13页
第3章 EACVD中电子的能量和角分布的影响	第13-26页
·理论模型	第13-15页
·结果与分析	第15-26页
·EACVD中电子的能量分布	第15-20页
·EACVD中电子的角度分布	第20-26页
第4章 电子的复合对各种粒子分布的影响	第26-37页
·理论基础	第26-27页
·结果与分析	第27-37页
第5章 金刚石n型掺杂的动力学过程研究	第37-56页
·引言	第37-38页
·理论基础	第38-41页
·硫化氢的热分解过程	第38页
·硫原子的热电离过程	第38-39页
·电子与硫原子的碰撞电离过程	第39-40页
·氩气的碰撞过程	第40-41页
·模拟过程	第41-42页
·结果与分析	第42-56页
·电场分布和电子的平均能量分布	第42页
·氩离子的空间分布	第42-50页
·硫的空间分布	第50-56页
第6章 结束语	第56-58页
参考文献	第58-61页
致谢	第61页