| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-18页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·分子泵的分类、发展历史及前景 | 第13-16页 |
| ·新一代分子泵──分子/增压泵 | 第16-17页 |
| ·涡轮分子泵和复合分子泵的局限性 | 第16页 |
| ·分子/增压泵 | 第16-17页 |
| ·本课题研究的内容及意义 | 第17-18页 |
| 第二章 分子/增压泵的原理、结构及性能 | 第18-30页 |
| ·传统分子泵的结构及其抽气原理 | 第18-23页 |
| ·涡轮分子泵的结构及其抽气原理 | 第18-19页 |
| ·传统牵引分子泵的结构及其抽气原理 | 第19-23页 |
| ·复合分子泵的结构及其抽气原理 | 第23页 |
| ·分子/增压泵的结构及其抽气原理 | 第23-26页 |
| ·概述 | 第23-24页 |
| ·分子/增压泵的基本结构 | 第24-25页 |
| ·分子/增压泵抽气原理 | 第25-26页 |
| ·分子/增压泵的性能 | 第26-30页 |
| ·分子/增压泵性能综述 | 第26-28页 |
| ·分子/增压泵与涡轮分子泵、罗茨泵和扩散泵的性能比较 | 第28-30页 |
| 第三章 分子/增压泵性能测试 | 第30-43页 |
| ·分子泵测试原理 | 第30-34页 |
| ·真空泵性能表示方法 | 第30页 |
| ·真空泵抽速测量方法 | 第30-34页 |
| ·分子/增压泵性能测试 | 第34-43页 |
| ·分子/增压泵抽速测试 | 第34-40页 |
| ·分子/增压泵极限真空测试 | 第40-42页 |
| ·分子/增压泵高压强性能测试 | 第42-43页 |
| 第四章 分子/增压泵的应用 | 第43-62页 |
| ·真空技术的应用概况 | 第43-44页 |
| ·真空镀膜概述 | 第44-45页 |
| ·分子/增压泵在箱体式磁控溅射、离子镀膜机上的应用 | 第45-54页 |
| ·概述 | 第45-46页 |
| ·分子/增压泵在镀膜机上的应用 | 第46-52页 |
| ·总结 | 第52-54页 |
| ·分子/增压泵在连续式磁控溅射镀膜生产线上的应用 | 第54-59页 |
| ·概述 | 第54-55页 |
| ·连续式生产线的设备结构及存在的问题 | 第55-56页 |
| ·分子/增压泵在连续式生产线上的应用分析 | 第56-57页 |
| ·实施 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第59页 |
| ·分子/增压泵在其它真空应用领域的应用 | 第59-62页 |
| ·分子/增压泵在重离子加速器大流量差分系统中的应用 | 第59-60页 |
| ·分子/增压泵在灯管排气台中的应用 | 第60-61页 |
| ·分子/增压泵在全膜高压电容器真空浸渍中的应用 | 第61-62页 |
| 第五章 总结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 发表论文 | 第65页 |
