| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·声表面波技术 | 第10-13页 |
| ·SAW 技术的发展 | 第10-11页 |
| ·声表面波技术特点 | 第11页 |
| ·SAW 器件的分类及特点 | 第11-13页 |
| ·声表面波传感器 | 第13-16页 |
| ·SAW 传感器的发展 | 第13页 |
| ·SAW 传感器分类及特点 | 第13-16页 |
| ·本课题研究的意义 | 第16-17页 |
| ·国内外研究现状 | 第17-18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 声表面波谐振器传感原理 | 第19-34页 |
| ·概述 | 第19页 |
| ·声表面波的传播 | 第19-22页 |
| ·各向同性介质中的声表面波 | 第19-21页 |
| ·各向异性介质中的声表面波 | 第21-22页 |
| ·SAW 谐振器的构成 | 第22-28页 |
| ·叉指换能器 | 第22-25页 |
| ·声反射栅 | 第25-27页 |
| ·SAW 谐振器的构成 | 第27-28页 |
| ·声表面波器件制作工艺 | 第28-32页 |
| ·常用的压电材料 | 第28-30页 |
| ·声表面波器件加工工艺 | 第30-32页 |
| ·SAW 谐振器的敏感特性 | 第32-33页 |
| ·基片材料常数变化对SAW 谐振器参数的影响 | 第32-33页 |
| ·叉指间距变化对SAW 谐振器参数的影响 | 第33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 3 基片表面力负载对SAW 谐振器特性影响的理论分析 | 第34-51页 |
| ·概述 | 第34页 |
| ·无外力作用的压电耦合波方程及声表面波波速的求解 | 第34-42页 |
| ·无外力作用的压电耦合波方程 | 第34-37页 |
| ·无外力作用时声表面波波速的求解 | 第37-42页 |
| ·表面力负载作用下压电耦合波方程及声表面波波速的求解 | 第42-50页 |
| ·表面力负载作用下的压电耦合波方程 | 第42-43页 |
| ·表面力负载作用下声表面波波速的求解 | 第43-45页 |
| ·数值计算 | 第45-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 4 基片表面力负载对SAW 谐振器特性影响的实验研究 | 第51-63页 |
| ·概述 | 第51页 |
| ·实验装置 | 第51-52页 |
| ·负载对SAW 谐振器谐振频率的影响 | 第52-56页 |
| ·实验结果 | 第52-54页 |
| ·实验结果分析 | 第54-56页 |
| ·负载对SAW 谐振器损耗的影响 | 第56-61页 |
| ·实验结果 | 第58-60页 |
| ·实验结果分析 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 5 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 附录 | 第71-73页 |
