平行平板干涉测量技术研究
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
1 绪论 | 第7-9页 |
·课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
·项目来源 | 第8页 |
·本论文的主要研究工作 | 第8-9页 |
2 波长移相干涉测量原理 | 第9-19页 |
·波长移相基本原理 | 第9-11页 |
·相移算法 | 第11-18页 |
·定步长算法 | 第11-15页 |
·等步长算法 | 第15-18页 |
·本章小结 | 第18-19页 |
3 时域傅立叶变换测量平行平板方法 | 第19-27页 |
·系统框架 | 第19页 |
·测量原理 | 第19-23页 |
·时域傅立叶变换算法 | 第23-26页 |
·本章小结 | 第26-27页 |
4 空域傅立叶变换测量平行平板方法 | 第27-46页 |
·测量原理 | 第27页 |
·空域傅立叶变换算法 | 第27-45页 |
·干涉图的延拓 | 第28-30页 |
·傅立叶提取相位原理 | 第30-32页 |
·窗函数的设计与选取 | 第32-35页 |
·相位解包 | 第35-44页 |
·算法选定 | 第44-45页 |
·本章小结 | 第45-46页 |
5 平行平板测量的实验系统 | 第46-59页 |
·实验系统的建立 | 第46-48页 |
·干涉系统 | 第46-48页 |
·实验结果与分析 | 第48-58页 |
·时域测量 | 第48-54页 |
·空域测量 | 第54-56页 |
·实验结果分析 | 第56-58页 |
·本章小结 | 第58-59页 |
6 结论 | 第59-60页 |
致谢 | 第60-61页 |
参考文献 | 第61-64页 |