平行平板干涉测量技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-9页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·项目来源 | 第8页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第8-9页 |
| 2 波长移相干涉测量原理 | 第9-19页 |
| ·波长移相基本原理 | 第9-11页 |
| ·相移算法 | 第11-18页 |
| ·定步长算法 | 第11-15页 |
| ·等步长算法 | 第15-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 时域傅立叶变换测量平行平板方法 | 第19-27页 |
| ·系统框架 | 第19页 |
| ·测量原理 | 第19-23页 |
| ·时域傅立叶变换算法 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 4 空域傅立叶变换测量平行平板方法 | 第27-46页 |
| ·测量原理 | 第27页 |
| ·空域傅立叶变换算法 | 第27-45页 |
| ·干涉图的延拓 | 第28-30页 |
| ·傅立叶提取相位原理 | 第30-32页 |
| ·窗函数的设计与选取 | 第32-35页 |
| ·相位解包 | 第35-44页 |
| ·算法选定 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 平行平板测量的实验系统 | 第46-59页 |
| ·实验系统的建立 | 第46-48页 |
| ·干涉系统 | 第46-48页 |
| ·实验结果与分析 | 第48-58页 |
| ·时域测量 | 第48-54页 |
| ·空域测量 | 第54-56页 |
| ·实验结果分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |