| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·三坐标测量机概况及发展现状 | 第13-14页 |
| ·纳米三坐标测量机研究现状 | 第14-16页 |
| ·误差分离技术研究概况 | 第16页 |
| ·课题来源及意义 | 第16-17页 |
| ·本论文主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 纳米三坐标测量机误差源分析和精度设计 | 第19-28页 |
| ·测量机误差源分析 | 第19-23页 |
| ·测量机系统概述 | 第19-20页 |
| ·误差源分析 | 第20-23页 |
| ·测量机精度设计 | 第23-28页 |
| ·等作用原则的精度初步设计 | 第23-24页 |
| ·X和 Y轴方向精度设计 | 第24-25页 |
| ·Z轴方向精度设计 | 第25-26页 |
| ·总体精度分析和误差分配 | 第26-28页 |
| 第三章 纳米三坐标测量机误差分离方案研究 | 第28-37页 |
| ·误差分离实验装置 | 第28-30页 |
| ·德国SIOS公司三光束微型激光干涉仪 SP 2000 | 第28页 |
| ·激光头支架装置和平面反射镜设计 | 第28-30页 |
| ·误差分离方案 | 第30-37页 |
| ·示值误差分离 | 第31-33页 |
| ·阿贝误差分离 | 第33-34页 |
| ·线值误差分离 | 第34-36页 |
| ·垂直度误差分离 | 第36-37页 |
| 第四章 基于 LABVIEW 8的测量机误差修正程序设计 | 第37-50页 |
| ·测量机误差修正方法概述 | 第37-38页 |
| ·误差修正程序设计 | 第38-50页 |
| ·三次样条函数插值算法 | 第38-40页 |
| ·基于三次样条插值的拟合程序 | 第40-48页 |
| ·曲线一维插值程序 | 第42-44页 |
| ·样条曲线比较程序和最小二乘法拟合程序 | 第44-46页 |
| ·曲面二维插值程序 | 第46-48页 |
| ·误差修正程序 | 第48-50页 |
| 第五章 纳米三坐标测量机误差分离实验 | 第50-62页 |
| ·三光束微型激光干涉仪的操作规程 | 第50-53页 |
| ·XY可调节平面反射镜的标定 | 第53-54页 |
| ·二维定位平台和 Z轴驱动系统的装配 | 第54-59页 |
| ·误差分离实验 | 第59-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·研究总结 | 第62页 |
| ·研究工作展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67页 |