| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-27页 |
| ·MEMS概述 | 第10-14页 |
| ·MEMS的概念及主要加工技术 | 第10-14页 |
| ·MEMS技术的应用 | 第14页 |
| ·微纳谐振器的应用及技术特点 | 第14-18页 |
| ·微纳谐振器的检测方法 | 第18-24页 |
| ·微纳谐振器谐振特性检测方法概述 | 第19-23页 |
| ·微纳谐振梁谐振特性的压阻检测方法 | 第23-24页 |
| ·本论文所做工作 | 第24-27页 |
| 第二章 双端固支硅纳米梁相关理论 | 第27-40页 |
| ·双端固支硅纳米梁的力学理论 | 第27-30页 |
| ·弯曲双端固支纳米梁中的应变和应力 | 第27-28页 |
| ·双端固支梁自由振动谐振频率计算 | 第28-30页 |
| ·微纳谐振器的噪声与Q值 | 第30-31页 |
| ·微纳谐振器的噪声 | 第30-31页 |
| ·微纳谐振器的Q值分析及阻尼 | 第31页 |
| ·微纳谐振器的常用激励方式 | 第31-32页 |
| ·硅的压阻效应及在压阻检测方法中的应用 | 第32-39页 |
| ·本章总结 | 第39-40页 |
| 第三章 基于MEMS技术的双端固支硅纳米谐振梁制作 | 第40-47页 |
| ·关键工艺方法介绍 | 第40-43页 |
| ·基于MEMS技术的纳米结构制作 | 第40-41页 |
| ·KOH各向异性腐蚀技术在MEMS技术中的应用 | 第41-43页 |
| ·基于MEMS技术(111)硅片上双端固支硅纳米梁的制作 | 第43-46页 |
| ·本章总结 | 第46-47页 |
| 第四章 双端固支硅纳米梁上压阻形成技术 | 第47-61页 |
| ·微纳谐振梁上压阻形成技术 | 第47-51页 |
| ·微纳谐振梁上常用压阻形成技术 | 第47-50页 |
| ·Ar离子注入形成压阻原理 | 第50-51页 |
| ·离子注入原理介绍 | 第51-54页 |
| ·双端固支硅纳米梁上Ar离子注入形成压阻 | 第54-57页 |
| ·工艺中遇到的难题及解决方法 | 第57-59页 |
| ·本章总结 | 第59-61页 |
| 第五章 基于压阻效应的双端固支硅纳米梁谐振特性测试 | 第61-72页 |
| ·谐振特性检测系统设计 | 第61-64页 |
| ·谐振系统的静电激励设计 | 第61-62页 |
| ·谐振系统的压阻检测设计 | 第62-63页 |
| ·检测电路设计 | 第63-64页 |
| ·测量结果及结果分析 | 第64-71页 |
| ·静态测量结果 | 第64-68页 |
| ·动态测量结果 | 第68-71页 |
| ·本章总结 | 第71-72页 |
| 第六章 总结 | 第72-75页 |
| ·论文总结 | 第72-73页 |
| ·工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 个人简历 | 第83-84页 |
